[发明专利]用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置及方法。

背景技术

目前，在OLED(有机发光二极管)蒸镀中，填料成为一个基本的环节，传统的大尺寸OLED的蒸镀过程中，金属材料和有机材料经常在大气中填料后，随后放在有机腔室里进行蒸镀。然而有机材料，在填料过程中，易于与大气中的氧和水汽发生反应，使有机物氧化的同时易发生潮解，影响有机材料的纯度；特别是活泼金属材料过于活泼使金属球或块外表形成氧化物层，而氧化层对于蒸镀电极来说是不利的，使蒸镀温度增加的同时，蒸镀的金属纯度也降低。如WOLED(白光有机发光二极管)制备中，n-CGL(n型掺杂的ChargeGenerationLayer)中多用Li金属掺杂，Li易与空气中的氧气与氮气反应生出成氧化锂和氮化锂。现有的技术中，为解决这些在空气中暴露的问题，多利用真空中机械手装填的方法，或采用尽可能缩短装填时间的方法，然而第一种机械装填所用设备的昂贵复杂，大大增加了成本；第二种仅仅为缩短与大气接触的时间，不能完全进一步解决金属氧化的问题。

因此，针对以上不足，需要提供了一种用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置及方法。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明的目的是提供一种用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置及方法以解决现有的蒸镀技术中，金属材料和有机材料在放入有机腔室的过程中无法避免与大气中的氧和水汽发生反应，进而影响材料的纯度和蒸镀温度的问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置，包括设置在真空蒸镀空间内的填料瓶、磁性盖板、蒸镀材料槽及磁感应驱动单元，所述填料瓶瓶口朝下，所述磁性盖板铰接在所述填料瓶的瓶口处，所述填料瓶的瓶口朝向所述蒸镀材料槽，所述瓶口外侧设置磁感应驱动单元，以驱动所述磁性盖板的开合。

其中，还包括引流管，所述引流管的一端与所述填料瓶的瓶口连接，另一端朝向蒸镀材料槽。

其中，所述磁性盖板包括两个相对称的永磁体板，所述永磁体板的一端与瓶口铰接，另一端与瓶口卡接。

其中，两个所述永磁体板均为半圆形，且其直径边相对接；所述永磁体板的弧顶端与瓶口铰接。

其中，所述永磁体板的弧边靠近直径边的位置与瓶口卡接。

其中，所述瓶口的内壁上开设有滑槽，所述永磁体板的弧边具有与所述滑槽配合的突起，以使永磁体板卡接在瓶口处。

其中，所述磁感应驱动单元为一对电磁铁，两个电磁铁分置于瓶口的两侧，电磁铁通电时，所述永磁体板位于所述电磁铁形成的磁场中。

其中，所述填料瓶的瓶底开设有充气孔。

本发明另一方面提供的用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料方法包括以下步骤：

S1、向密闭的填料瓶内充入惰性气体，直至把填料瓶内的空气排出；

S2、向填料瓶内装填蒸镀材料；

S3、将填料瓶倒置于真空蒸镀空间内蒸镀材料槽上方，且使填料瓶的瓶口朝向蒸镀材料槽；

S4、对真空蒸镀空间抽真空，直至负压将磁性盖板打开；

S5、通过磁感应驱动单元将磁性盖板吸附，使磁性盖板完全打开，以使蒸镀材料进入蒸镀材料槽内；

S6、当填料瓶完成对蒸镀材料槽的材料填充后，改变磁感应驱动单元的磁场方向，将磁性盖板弹开，使磁性盖板关闭。

其中，所述蒸镀材料为蒸镀有机材料或活波金属。

其中，步骤S3中，将引流管的一端与所述填料瓶的瓶口连接，另一端朝向蒸镀材料槽；步骤S5中，使蒸镀材料通过引流管进入蒸镀材料槽内。

(三)有益效果

本发明的上述技术方案具有如下优点：本发明提供的用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置及方法中，将磁性盖板铰接在填料瓶的瓶口处，瓶口外侧设置磁感应驱动单元，以驱动所述磁性盖板的开合，实现实时持续定量进行填料的功能，从而更多的蒸镀材料可一次性放入填料瓶内，不需多次从真空蒸镀空间外向蒸镀材料槽内填充蒸镀材料，也避免了蒸镀材料在放入有机腔室的过程中与大气中的氧和水汽发生反应，进而影响材料的纯度和蒸镀温度的问题。

附图说明

图1是本发明实施例1用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置的结构示意图；

图2是本发明实施例1用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置中磁性盖板打开开始填料的示意图；

图3是本发明实施例1用于有机发光二极管蒸镀系统中的填料装置中磁性盖板关闭结束填料的示意图；