[发明专利]振动装置、电子设备以及移动体

说明书

本发明涉及一种振动装置、电子设备以及移动体，其中，振动装置具备：基台，其具有固定部和被连接于固定部上的可动部；振动元件，其具有第一基部、第二基部、一端被连接于第一基部上而另一端被连接于第二基部上的振动臂，并且，第一基部被固定于固定部上，第二基部被固定于可动部上；锤部，其被连接于可动部上；应力缓和部，其被设置于锤部的连接区域和振动臂之间。

技术领域

本发明涉及一种振动装置、具备该振动装置的电子设备以及移动体。

背景技术

一直以来，作为对加速度、角速度、物体的姿态等的物理量进行检测的装置，公知有一种将压电振子等作为物理量检测元件而对物理量进行检测的物理量检测装置。此种物理量检测装置被构成为，通过朝向检测轴方向的力的作用从而在物理量检测元件的共振频率产生变化时，根据该共振频率的变化而对施加于物理量检测装置上的力进行检测。

在专利文献1中公开有一种物理量检测装置(振动装置)，所述物理量检测装置(振动装置)具备：悬臂(基台)，其以隔着接头部的方式而具备固定部和可动部；物理量检测元件(振动元件)，其以跨及固定部和可动部的方式而被固定于基台上，所述振动装置采用了如下结构，即，为了使检测灵敏度提高，从而在基台的可动部上搭载了锤。

但是，专利文献1所述的振动装置存在如下问题，即，当通过粘合剂等而将锤连接于基台的可动部上时，会产生因粘合剂的硬化收缩而导致的应力，从而存在该应力向振动元件传递而使输出中重叠有误差成分的问题。

专利文献1：日本特开2014-10045号公报

发明内容

本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的，其能够作为以下的方式或应用例而实现。

应用例1

本应用例所涉及的振动装置的特征在于，具备：基台，其具有固定部和与所述固定部连接的可动部；振动元件，其具有第一基部、第二基部和振动臂，所述振动臂的一端被连接于所述第一基部上而另一端被连接于所述第二基部上，并且，所述第一基部被固定于所述固定部上，所述第二基部被固定于所述可动部上；锤部，其被连接于所述可动部上；应力缓和部，其被设置于所述锤部的连接区域和所述振动臂之间。

根据本应用例，由于在接合以及连接有振动元件的第二基部和锤部的可动部中，在连接有锤部的连接区域和振动臂之间设置有应力缓和部，因此由于因连接锤部的连接部件的硬化收缩而产生的应力不易向接合有振动臂的区域直接传递，因此能够减少在振动臂的频率变化等的输出中重叠有随着应力而产生的误差成分的情况。因此，能够获得具有高精度特性的振动装置。

应用例2

上述应用例所涉及的振动装置的特征在于，所述应力缓和部为槽以及贯穿孔中的至少一方。

根据本应用例，由于通过将应力缓和部设为槽或贯穿孔的结构，从而能够较容易地加工制造，因此能够获得低成本的振动装置。

应用例3

上述应用例所涉及的振动装置的特征在于，所述应力缓和部被设置于所述基台上。

根据本应用例，由于通过将应力缓和部设置于接合以及连接有振动元件的第二基部和锤部的基台上，从而使得因连接锤部的连接部件的硬化收缩而产生的应力不易通过振动臂而向基台传递，因此能够进一步减小应力的影响。

应用例4

上述应用例所涉及的振动装置的特征在于，所述应力缓和部被设置在所述第二基部的周围。

根据本应用例，由于通过将应力缓和部配置于接合以及连接有振动元件的第二基部和锤部的基台上且第二基部的周围，从而使得因连接锤部的连接部件的硬化收缩而产生的应力不易通过振动臂而向基台传递，因此能够进一步减小应力的影响。

应用例5