[发明专利]抗蚀剂剥离剂组合物、平板显示器的制法及平板显示器

权利要求书

1.一种抗蚀剂剥离剂组合物，包括：

基于所述抗蚀剂剥离剂组合物的总重量，

0.0001wt％至0.1wt％的由以下化学式1表示的化合物(A)；

0.01wt％至10wt％的包括伯烷醇胺和叔烷醇胺的烷醇胺(B)；

20wt％至85wt％的伯醇(C)；以及

5wt％至75wt％的极性非质子溶剂(D)；

[化学式1]

其中，R1和R8各自独立地为氢原子或C1～C4烷基。

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述化合物(A)选自由4-甲基-4,5,6,7-四氢-1H-苯并[1,2,3]三唑、5-甲基-4,5,6,7-四氢-1H-苯并[1,2,3]三唑、5,6-二甲基-4,5,6,7-四氢-1H-苯并[1,2,3]三唑、4,6-二甲基-4,5,6,7-四氢-1H-苯并[1,2,3]三唑以及它们的组合所组成的组。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述烷醇胺(B)包括重量比为1:0.1～0.1:1的伯烷醇胺和叔烷醇胺。

4.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述伯醇(C)包括重量比为1:0.1～0.1:1的亚烷基二醇类伯醇和非亚烷基二醇类伯醇。

5.根据权利要求3所述的抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述伯烷醇胺为选自由单乙醇胺、异丙醇胺和2-(2-氨基乙氧基)乙醇所组成的组中的至少一种；以及所述叔烷醇胺为选自由甲基二乙醇胺、二甲基乙醇胺和三乙醇胺所组成的组中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述伯醇(C)为选自由乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单异丙醚、乙二醇单丁醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单异丙醚、二乙二醇单丁醚、三乙二醇单甲醚、三乙二醇单乙醚、三乙二醇单异丙醚、三乙二醇单丁醚、聚乙二醇单甲醚、聚乙二醇单丁醚、二乙二醇、三乙二醇、异丙基乙二醇、四氢糠醇、羟甲基环戊烯、4-羟甲基-1,3-二氧戊环、2-甲基-4-羟甲基-1,3-二氧戊环、2,2-二甲基-1,3-二氧戊环-4-甲醇、1,3-丙二醇、1,3-丁二醇、1,4-丁二醇以及2-甲氧基乙醇所组成的组中的至少一种。

7.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂组合物，其中，所述极性非质子溶剂(D)选自由吡咯烷酮化合物、咪唑啉酮化合物、内酯化合物、亚砜化合物、磷酸酯化合物、碳酸酯化合物、酰胺化合物以及它们的组合所组成的组。

8.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离剂组合物，进一步包括选自由抗腐蚀剂和去离子水所组成的组中的至少一种。

9.根据权利要求8所述的抗蚀剂剥离剂组合物，其中，基于所述抗蚀剂剥离剂组合物的总重量，所述抗腐蚀剂的用量为3wt％或更少，所述去离子水的用量为70wt％或更少。

10.一种用于制造平板显示器基板的方法，包括：使用根据权利要求1至9中任一项所述的抗蚀剂剥离剂组合物冲洗所述平板显示器基板。

11.一种通过权利要求10所述的方法制造的平板显示器基板。