[发明专利]用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪在审
| 申请号： | 201510589812.9 | 申请日： | 2015-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN105203066A | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 罗霄;熊玲;张峰;郑立功;张学军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01B21/20 | 分类号： | G01B21/20 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 超大 口径 检测 悬挂 式摆臂 轮廓仪 | ||
1.用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪，包括测量臂(4)和位移传感器(7)，其特征在于，还包括连接件A(1)、气浮转台(2)、连接件B(3)、配重件(5)和连接件C(6)；
所述的气浮转台(2)通过连接件A(1)与悬挂装置(8)悬挂连接；所述测量臂(4)通过连接件B(3)与气浮转台(2)的固定；所述的测量臂(4)的一端通过连接件C(6)固定位移传感器(7)的测头；另一端设置有配重件(5)；
所述气浮转台(2)的转轴随悬挂装置(8)倾斜，通过待测反射镜(9)最接近球球心。
2.根据权利要求1所述的用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪，其特征在于，所述的连接件B(3)包括上部件(301)和两个松紧可调的卡扣(302)：上部件(301)与气浮转台(2)固定，两个松紧可调的卡扣(302)固定测量臂(4)。
3.根据权利要求1或2所述的用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪，其特征在于，所述测量臂(4)的长度不限，测量臂(4)在连接件B(3)上的安装位置可调。
4.根据权利要求1所述的用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪，其特征在于，在同一位置，所述测量臂(4)可携带位移传感器(7)绕气浮转台(2)旋转至少一圈。
5.根据权利要求4所述的用于超大口径面形检测的悬挂式摆臂轮廓仪，其特征在于，所述测量臂(4)携带位移传感器(7)绕气浮转台(2)旋转一圈在镜面上扫过的弧线最大为2π弧度。
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