[发明专利]基板加工装置

权利要求书

1.一种基板加工装置，具备：搬送带，搬送脆性材料基板；前步骤装置，将所述脆性材料基板自所述搬送带的上方载置于所述搬送带上；及夹紧装置，将载置于所述搬送带上的所述脆性材料基板夹紧；且

所述夹紧装置具备：基板支撑部，相对于所述搬送带的位置固定，以能够支撑所述脆性材料基板的方式安装在所述搬送带的下表面；机械臂安装台，安装在所述搬送带的上表面；及机械臂，相对于所述基板支撑部旋转或移动，以能够将所述脆性材料基板夹入该机械臂与所述基板支撑部之间的方式，相对于所述机械臂安装台动作。

2.根据权利要求1所述的基板加工装置，其中在所述搬送带形成有孔或凹部，所述孔或所述凹部内配置有所述基板支撑部。

3.根据权利要求1或2所述的基板加工装置，其中所述前步骤装置决定所述搬送带的宽度方向上所述脆性材料基板相对于所述搬送带的位置。

4.根据权利要求1或2所述的基板加工装置，还具备驱动装置，所述驱动装置通过对所述搬送带及所述夹紧装置两者传达驱动力，使所述搬送带及所述夹紧装置沿着所述脆性材料基板的搬送方向移动。

5.根据权利要求3所述的基板加工装置，还具备驱动装置，所述驱动装置通过对所述搬送带及所述夹紧装置两者传达驱动力，使所述搬送带及所述夹紧装置沿着所述脆性材料基板的搬送方向移动。