[发明专利]阵列基板、显示装置及阵列基板的制备方法有效

专利信息
申请号: 201510593910.X 申请日: 2015-09-17
公开(公告)号: CN105280649B 公开(公告)日: 2018-10-19
发明(设计)人: 徐向阳 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L23/552;H01L21/77
代理公司: 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 代理人: 何青瓦
地址: 518006 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 阵列 显示装置 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种阵列基板,其特征在于,包括:

显示区域,包括显示区域TFT,所述显示区域交叉设置有数据线、栅线、下层透明电极和上层透明电极;

GOA区域,包括GOA区域TFT、GOA区域电极层和电路保护层,所述GOA区域设置有至少一个第一过孔和至少一个第二过孔,所述第一过孔的底部为数据线金属层,所述第二过孔的底部为栅线金属层;所述GOA区域电极层通过所述第一过孔与所述GOA区域TFT电连接,所述GOA区域电极层通过所述第二过孔与外部驱动电路电连接,其中,所述GOA区域电极层与所述下层透明电极利用同层同构图工艺形成,所述电路保护层与所述上层透明电极利用同层同构图工艺形成;

所述显示区域和所述GOA区域之上覆盖有第一绝缘层和第二绝缘层;所述下层透明电极设在所述第一绝缘层和所述第二绝缘层之间,所述上层透明电极设在第二绝缘层之上;所述电路保护层覆盖在所述GOA区域的上方,用于屏蔽外部电磁干扰及保护所述GOA区域的电路免受腐蚀;

其中,所述GOA区域电极层与所述下层透明电极同层,所述电路保护层与所述上层透明电极同层;所述下层透明电极为像素电极,所述上层透明电极为公共电极;或者,所述下层透明电极为公共电极,所述上层透明电极为像素电极。

2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述GOA区域电极层和所述电路保护层均为透明导电薄膜。

3.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求1-2任一项所述的阵列基板。

4.一种阵列基板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

在衬底上形成TFT,所述TFT包括GOA区域TFT和显示区域TFT;

在所述TFT之上形成第一绝缘层;

在所述第一绝缘层的GOA区域中形成第一过孔和第二过孔,所述第一过孔的底部为数据线金属层,所述第二过孔的底部为栅线金属层;

在所述显示区域对应的所述第一绝缘层之上形成下层透明电极,并在所述GOA区域对应的所述第一绝缘层之上形成GOA区域电极层,使所述GOA区域电极层与所述下层透明电极同层,所述GOA区域电极层通过所述第一过孔与所述GOA区域TFT电连接,所述GOA区域电极层层通过所述第二过孔与外部驱动电路电连接;

在所述下层透明电极和所述GOA区域电极层之上形成第二绝缘层;

在所述显示区域对应的所述第二绝缘层之上形成上层透明电极,并在所述GOA区域对应的第二绝缘层之上形成电路保护层,使所述电路保护层与所述上层透明电极同层,所述电路保护层用于屏蔽外部电磁干扰及保护所述GOA区域的电路免受腐蚀;

其中,所述下层透明电极为像素电极,所述上层透明电极为公共电极;或者,所述下层透明电极为公共电极,所述上层透明电极为像素电极。

5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,在所述显示区域对应的所述第一绝缘层之上形成下层透明电极,并在所述GOA区域对应的所述第一绝缘层之上形成GOA区域电极层的步骤包括:

在所述第一绝缘层之上沉积一层透明导电薄膜,通过光刻将所述显示区域对应的透明导电薄膜形成下层透明电极、将所述GOA区域对应的透明导电薄膜形成GOA区域电极层。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,在所述显示区域对应的所述第二绝缘层之上形成上层透明电极,并在所述GOA区域对应的第二绝缘层之上形成电路保护层的步骤包括:

在所述第二绝缘层之上沉积一层透明导电薄膜,通过光刻将所述显示区域对应的透明导电薄膜形成上层透明电极、将所述GOA区域对应的透明导电薄膜形成电路保护层。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述透明导电薄膜为ITO。

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