[发明专利]阵列基板、显示装置及阵列基板的制备方法有效
申请号: | 201510593910.X | 申请日: | 2015-09-17 |
公开(公告)号: | CN105280649B | 公开(公告)日: | 2018-10-19 |
发明(设计)人: | 徐向阳 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L23/552;H01L21/77 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 何青瓦 |
地址: | 518006 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 阵列 显示装置 制备 方法 | ||
1.一种阵列基板,其特征在于,包括:
显示区域,包括显示区域TFT,所述显示区域交叉设置有数据线、栅线、下层透明电极和上层透明电极;
GOA区域,包括GOA区域TFT、GOA区域电极层和电路保护层,所述GOA区域设置有至少一个第一过孔和至少一个第二过孔,所述第一过孔的底部为数据线金属层,所述第二过孔的底部为栅线金属层;所述GOA区域电极层通过所述第一过孔与所述GOA区域TFT电连接,所述GOA区域电极层通过所述第二过孔与外部驱动电路电连接,其中,所述GOA区域电极层与所述下层透明电极利用同层同构图工艺形成,所述电路保护层与所述上层透明电极利用同层同构图工艺形成;
所述显示区域和所述GOA区域之上覆盖有第一绝缘层和第二绝缘层;所述下层透明电极设在所述第一绝缘层和所述第二绝缘层之间,所述上层透明电极设在第二绝缘层之上;所述电路保护层覆盖在所述GOA区域的上方,用于屏蔽外部电磁干扰及保护所述GOA区域的电路免受腐蚀;
其中,所述GOA区域电极层与所述下层透明电极同层,所述电路保护层与所述上层透明电极同层;所述下层透明电极为像素电极,所述上层透明电极为公共电极;或者,所述下层透明电极为公共电极,所述上层透明电极为像素电极。
2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述GOA区域电极层和所述电路保护层均为透明导电薄膜。
3.一种显示装置,其特征在于,包括权利要求1-2任一项所述的阵列基板。
4.一种阵列基板的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
在衬底上形成TFT,所述TFT包括GOA区域TFT和显示区域TFT;
在所述TFT之上形成第一绝缘层;
在所述第一绝缘层的GOA区域中形成第一过孔和第二过孔,所述第一过孔的底部为数据线金属层,所述第二过孔的底部为栅线金属层;
在所述显示区域对应的所述第一绝缘层之上形成下层透明电极,并在所述GOA区域对应的所述第一绝缘层之上形成GOA区域电极层,使所述GOA区域电极层与所述下层透明电极同层,所述GOA区域电极层通过所述第一过孔与所述GOA区域TFT电连接,所述GOA区域电极层层通过所述第二过孔与外部驱动电路电连接;
在所述下层透明电极和所述GOA区域电极层之上形成第二绝缘层;
在所述显示区域对应的所述第二绝缘层之上形成上层透明电极,并在所述GOA区域对应的第二绝缘层之上形成电路保护层,使所述电路保护层与所述上层透明电极同层,所述电路保护层用于屏蔽外部电磁干扰及保护所述GOA区域的电路免受腐蚀;
其中,所述下层透明电极为像素电极,所述上层透明电极为公共电极;或者,所述下层透明电极为公共电极,所述上层透明电极为像素电极。
5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,在所述显示区域对应的所述第一绝缘层之上形成下层透明电极,并在所述GOA区域对应的所述第一绝缘层之上形成GOA区域电极层的步骤包括:
在所述第一绝缘层之上沉积一层透明导电薄膜,通过光刻将所述显示区域对应的透明导电薄膜形成下层透明电极、将所述GOA区域对应的透明导电薄膜形成GOA区域电极层。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,在所述显示区域对应的所述第二绝缘层之上形成上层透明电极,并在所述GOA区域对应的第二绝缘层之上形成电路保护层的步骤包括:
在所述第二绝缘层之上沉积一层透明导电薄膜,通过光刻将所述显示区域对应的透明导电薄膜形成上层透明电极、将所述GOA区域对应的透明导电薄膜形成电路保护层。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述透明导电薄膜为ITO。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的