[发明专利]一种基板对位检测校准装置和方法

权利要求书

1.一种基板对位检测校准装置，其特征在于，包括：

设置在基板载台上的对位单元、控制装置和基板位置检测单元；

所述对位单元包括可升降的锥形头部；

多个对位单元和所述基板位置检测单元分别与所述控制装置通信连接；

所述基板位置检测单元扫描基板边缘，检测基板边缘到基板载台边缘的距离，并传输至控制装置计算出基板的偏移量，控制装置根据基板的偏移量向对位单元发送控制命令，使对位单元产生相应的动作调整基板的位置。

2.如权利要求1所述的基板对位检测校准装置，其特征在于，所述对位单元是多个，所述多个对位单元设置在基板载台边缘的预定位置处。

3.如权利要求1所述的基板对位检测校准装置，其特征在于，所述对位单元还包括升降装置，

所述升降装置连接所述锥形头部的底面；

所述升降装置包括可转动的丝杆。

4.如权利要求1所述的基板对位检测校准装置，其特征在于，所述基板位置检测单元是激光探测器。

5.一种基板对位检测校准方法，其特征在于，应用于权利要求1-4任意一项所述的装置，包括如下步骤：

基板位置检测单元检测基板在基板载台上的位置，

控制装置根据基板在基板载台上的位置计算出基板的偏移量并根据基板的偏移量生成相应的校准控制命令；

对位单元根据校准控制命令产生相应的动作调整基板的位置。

6.如权利要求5所述的基板对位检测校准方法，其特征在于，所述基板位置检测单元是定时检测的。

7.如权利要求5所述的基板对位检测校准方法，其特征在于，所述基板位置检测单元检测基板在基板载台上的位置包括：

沿X方向扫描基板边缘；

沿Y方向扫描基板边缘；

根据位置检测单元到基板的距离和位置检测单元到基板载台的距离确定基板在基板载台上的位置。

8.如权利要求7所述的基板对位检测校准方法，其特征在于，所述基板在基板载台上的位置是位置检测单元到基板的距离和位置检测单元到基板载台的距离的跳变确定的。

9.如权利要求5所述的基板对位检测校准方法，其特征在于，所述根据基板的偏移量生成相应的校准控制命令包括：

根据基板的偏移量计算出对位单元的动作量。

10.如权利要求9所述的基板对位检测校准方法，其特征在于，所述对位单元的动作量是按下式计算的：

△X＝k×△H1

△Y＝k×△H2

其中，△X为基板位置的横向偏移量，△Y为基板位置的纵向偏移量，k为偏移量对位系数，△H1为控制基板横向移动的对位单元的动作量，△H2为控制基板纵向移动的对位单元的动作量。

11.如权利要求9所述的基板对位检测校准方法，其特征在于，所述偏移量对位系数k根据所述对位单元的可升降的锥形头部的斜率确定的。