[发明专利]一种基板对位检测校准装置和方法

说明书

本发明公开了一种基板对位检测校准装置和方法，该装置包括：设置在基板载台上的对位单元、控制装置和基板位置检测单元；所述多个对位单元和所述基板位置检测单元分别与所述控制装置通信连接；所述基板位置检测单元扫描基板边缘，检测基板边缘到基板载台边缘的距离，并传输至控制装置计算出基板的偏移量，控制装置根据基板的偏移量向对位单元发送控制命令，使对位单元产生相应的动作调整基板的位置。本发明在不良发生前确认是否存在基板偏移问题；极大地提高基板偏移的校准精度。

技术领域

本发明涉及一种基板对位检测校准装置和方法，属于液晶制造技术领域。

背景技术

液晶显示装置因具有功耗低、无辐射等优点，现已占据了平面显示领域的主导地位。现有的液晶显示装置中液晶面板通常包括相对设置的阵列基板和彩膜基板，以及填充在阵列基板和彩膜基板之间的液晶层，其中，阵列基板上设有多个薄膜晶体管以及多个像素电极，像素电极与薄膜晶体管的漏极连接，在彩膜基板上设有与像素电极对应的公共电极。当通过薄膜晶体管为像素电极充电时，像素电极和公共电极之间形成电场，从而可控制像素电极对应的液晶区域内的液晶分子偏转，进而实现液晶显示功能。

在平板显示和半导体制造行业，涂布技术是液晶制造中形成阵列基板非常关键的工艺技术。涂布技术就是在器件制作过程中在待加工基板表面涂覆一层光刻胶，然后通过后续曝光、显影、蚀刻、脱膜等工序制作出需求的电极或绝缘层图形。光刻胶涂布时基板1在涂布(Coater)机台(Stage)2上的位置精度要求很高，为此设备上自带了基板对位装置，如图1所示。该对位装置由分布在涂布机台周围的多个对位单元3组成，每个对位单元3包括一个圆柱形的对位引导装置31和一个连接杆32。基板放到涂布机台之前，连接杆32是放倒的，对位引导装置31与基板1不接触；如图2所示，基板1放到涂布机台2上之后，连接杆32竖起，对位引导装置31与基板1边缘接触，对基板位置进行调整。

对位引导装置31对基板1进行对位后要求基板位置不能有大的偏差，否则就会出现脱位(Uncoating)和破片等品质不良问题。但现有设备缺少对基板1位置偏移量进行检测的装置，只有等到脱位和破片等品质不良问题发生时才知道基板位置出现了偏移；基板位置出现偏移后，现有设备缺少对基板位置进行自动校准的装置，只能手动用直尺去确认基板位置偏移量，对于偏移量小于1mm的基板位置偏移根本无法进行有效确认和调整；手动调整的效果缺乏数据支持，一般认为脱位和破片等品质不良消失时就调整正确了。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：如何自动检测基板在基板载台上的偏移量，并实时校准基板偏移。

为实现上述的发明目的，本发明提供了一种基板对位检测校准装置和方法。

一方面、本发明提供一种基板对位检测校准装置，包括：

设置在基板载台上的对位单元、控制装置和基板位置检测单元；

所述多个对位单元和所述基板位置检测单元分别与所述控制装置通信连接；

所述基板位置检测单元扫描基板边缘，检测基板边缘到基板载台边缘的距离，并传输至控制装置计算出基板的偏移量，控制装置根据基板的偏移量向对位单元发送控制命令，使对位单元产生相应的动作调整基板的位置。

其中较优地，所述对位单元是多个，所述多个对位单元设置在基板载台边缘的预定位置处。

其中较优地，所述对位单元包括可升降的锥形头部。

其中较优地，所述对位单元还包括升降装置，

所述升降装置连接所述锥形头部的底面；

所述升降装置包括可转动的丝杆。

其中较优地，所述基板位置检测单元是激光探测器。

另一方面，本发明提供一种基板对位检测校准方法，应用于上述的装置，包括如下步骤：