[发明专利]一种镀铜电镀工艺

权利要求书

1.一种镀铜电镀工艺，其特征在于：包括如下步骤:

（1）除油除锈：将待电镀的工件放入到滚桶中，滚桶中装有1/2体积的除油除锈水浴，该除油除锈水浴中含有：促进剂2.5-3.5g/L，扩散剂1.5-2.5g/L、渗透剂2-3g/L、木屑4-5g/L、螯合剂1.2-1.6g/L、碳酸钠20-30g/L、硅酸钠10-15g/L、十二烷基硫酸钠2-3g/L、氯化钠4-5g/L、松香粉2.5-3.5g/L，室温下浸泡25-35min，然后60-100r/min的转速转动下清洗30-60min，达到除油除锈的目的；

（2）超声波清洗：经过除油除锈后的工件在40℃的超声波体积分数为20-30%的乙醇水溶液中进行超声处理1-2min，超声波频率为45Hz；清洗结束后重新注入清水在同样的超声条件下清洗两次，最后吹干即可；

（3）电镀：使用电镀液对经过前处理的物品进行电镀处理，具体电镀过程为：首先对需要电镀的物品进行预热，预热5-10min，预热温度为35℃；然后将预热后的物品放入到电镀液中进行电镀处理，电镀过程中阳极采用点解铜板，阴极采用黄铜片，电镀时的电镀温度为40-50℃，电镀的电流密度为1A/dm2，电镀时间为10-20min；电镀过程中使用的电镀液成分如下：

五水合硫酸铜10-15g/L、HEDP150-160g/L、碳酸钾50-60g/L、丙烯酸羟乙酯2-3g/L、羧丙基二淀粉磷酸20-25g/L、EDTA8-12g/L、聚乙二醇1-2g/L、对苯二酚4-6g/L、超支化Gemini季铵盐1-2g/L、十二烷基硫酸钠0.05-0.15g/L、硫代硫酸钠0.05-0.15g/L；电镀过程中向电镀液中加入10wt%氢氧化钾水溶液调节电镀液的pH值在9-10；

（4）除氢：对电镀后的物品放入到豆油中在185-195℃下进行除氢处理，然后自然冷却后擦去浮油即可；

（5）憎水处理：对除氢处理后的物品的镀层表面通过含有质量分数为8-10%憎水剂的憎水溶液进行憎水处理；

（6）醇洗、水洗、吹干：将憎水处理后的物品先用体积分数为50%的乙醇水溶液清洗一次，然后再用去离子水进行清洗三遍，然后吹干。

2.根据权利要求1所述的镀铜电镀工艺，其特征在于：所述步骤1中所述的促进剂为促进剂NS，所述扩散剂为扩散剂DN，所述渗透剂为渗透剂JFC、所述螯合剂为相对分子质量为50000-60000的聚丙烯酸钠。

3.根据权利要求1所述的镀铜电镀工艺，其特征在于：所述步骤3中采用的聚乙二醇为PEG1000或PEG20000。

4.根据权利要求1所述的镀铜电镀工艺，其特征在于：所述步骤5中采用的憎水剂为憎水剂BH-102。