[发明专利]涂覆衬底的方法和涂覆设备在审
申请号: | 201510609397.9 | 申请日: | 2015-09-22 |
公开(公告)号: | CN105457860A | 公开(公告)日: | 2016-04-06 |
发明(设计)人: | 卡特琳·费舍尔;佛罗莱恩·帕利奇卡;约翰内斯·普拉滕;金子健人 | 申请(专利权)人: | 苏斯微技术光刻有限公司 |
主分类号: | B05D1/38 | 分类号: | B05D1/38;B05D3/02;B05B13/04;B05B15/00 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 巩克栋;杨生平 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 方法 设备 | ||
1.一种用漆涂覆衬底(16)的方法,其包括以下步骤:
-将漆喷射到衬底(16)上,
-随后,用溶剂喷射对衬底(16)施加的漆。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,将所述溶剂局部地喷射到所施加 的漆上。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,在喷涂所述漆和用溶剂喷射 所施加的漆之间,将所施加的漆的溶剂比例降低到使所施加的漆凝固的程度。
4.根据前述权利要求的任一项中所述的方法,其特征在于,在喷涂所述漆期间 和/或之后加热衬底(16)和/或所施加的漆。
5.根据前述权利要求的任一项中所述的方法,其特征在于,以预定的喷射模式 将所述漆喷射到衬底(16)上,所述预定的喷射模式优选平行路径(B),其中, 根据所述喷射模式同样地将溶剂喷射到所施加的漆上。
6.根据前述权利要求的任一项中所述的方法,其特征在于,在所述衬底的一个 位置上喷射漆的时间点和用溶剂喷射该位置的时间点之间的持续时间是恒定 的。
7.根据前述权利要求的任一项中所述的方法,其特征在于,通过漆喷嘴(20) 将漆喷射到衬底(16)上以及通过与漆喷嘴(20)分开的溶剂喷嘴(22)喷射 所述溶剂。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,平行于衬底(16)在衬底(16) 上方移动漆喷嘴(20)和溶剂喷嘴(22),优选同时地。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,在漆喷嘴(20)和溶剂喷嘴(22) 移动期间,溶剂喷嘴(22)遵循漆喷嘴(20)的路径。
10.根据权利要求8或者9所述的方法,其特征在于,在与衬底(16)平行的 至少一个平面中,以衬底(16)上方的平行路径(B)移动漆喷嘴(20)和溶剂 喷嘴(22),其中,漆喷嘴(20)和溶剂喷嘴(22)之间的距离(a)等于两倍 或者整数倍的路径(B)之间的距离(b)。
11.根据前述权利要求的任一项中所述的方法,其特征在于,如果对衬底(16) 施加多个漆层,在已经喷涂最后的漆层之后用溶剂喷射所施加的层。
12.根据权利要求11所述的方法,其特征在于,当喷涂最后的漆层时,所述漆 具有比在先喷涂的漆层的漆更大的溶剂比例。
13.根据前述权利要求的任一项中所述的方法,其特征在于,用溶剂反复地喷 射所施加的漆。
14.根据前述权利要求的任一项中所述的方法,其特征在于,所述溶剂是丙酮 或者甲基酮。
15.用于涂漆衬底(16)的涂覆设备,尤其是具有表面形貌的衬底(16),其包 括衬底架(12),漆喷嘴(20),溶剂喷嘴(22)和移动装置(14),漆喷嘴(20) 和溶剂喷嘴(22)相对于彼此以特定的距离布置在移动装置(14)上,其中, 通过移动装置(14)可以将漆喷嘴(20)和溶剂喷嘴(22)在衬底架(12)上 方一起移动。
16.根据权利要求15所述的涂覆设备,其特征在于,涂覆设备(10)包括加热 装置,尤其是衬底架(12)设置有加热元件(18)。
17.根据权利要求15或者16所述的涂覆设备,其特征在于,设计移动装置(14) 的方式是使得其可以在平行于衬底(12)的至少一个平面中,以衬底(12)上 方的平行路径(B)移动漆喷嘴(20)和溶剂喷嘴(22),其中,漆喷嘴(20) 和溶剂喷嘴(22)之间的距离(a)等于两倍或者整数倍的路径(B)之间的距 离(b)。
18.根据权利要求15至17的任一项中所述的涂覆设备,其特征在于,路径(B) 之间的距离(b)大约对应于由漆喷嘴(20)产生的位于待涂覆的衬底(16)上 的漆射流的直径。
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