[发明专利]涂覆衬底的方法和涂覆设备

说明书

本发明涉及用漆涂覆衬底的方法和用于涂衬底的涂覆设备。

微米和纳米制造工艺通常使用漆，所述漆以层施加到待处理的衬底上。在 这些漆的帮助下，有可能产生例如衬底上的掩模，在其帮助下可以产生所需的 结构或者可以在衬底上实现加工。为了这个目的，所述漆是例如光敏的，从而 使得所需的结构可以在光学成像的帮助下从光掩模传递到光敏漆。

为了达到最佳结果，非常重要的是所施加的漆层不含有任何不规则 (irregularities)和颗粒。除了旋转方法，也使用喷射法将漆施加到衬底上，在 喷射法中，通过喷嘴将漆喷射到衬底上。尤其在衬底具有表面形貌的情况下， 即，衬底本身已经在其表面上具有垂直的三维结构，以只通过喷涂漆的经济方 式可以实现尽可能均匀的漆层。

然而，由于一定数量的漆滴在喷嘴和衬底之间飞行时变干，然后已经作为 (几乎)固化的漆颗粒撞击衬底的表面上或者在该位置处存在的漆，因此，当 喷涂漆时，漆颗粒在漆层上形成。这些漆颗粒在喷涂的漆层上聚集并且在进一 步的加工期间(例如，在暴露于光期间)造成问题，并最终导致所产生的结构 上的局部缺陷。

本发明的目的是提供一种方法和一种装置，其中，施加在衬底上的漆层平 坦并且不含有漆颗粒。

该目的通过用漆涂覆衬底的方法实现，其中将漆喷射到衬底上，然后用溶 剂喷射对衬底施加的漆。

通过随后用溶剂喷射施加的漆，将在衬底上已经形成的不规则弄平并且溶 解已经附着于衬底的漆颗粒，从而衬底的表面平坦并且(至少基本上)不含漆 颗粒。

在这方面，术语“漆”应理解成溶剂和适于所需的应用的漆的混合物。

优选地，将溶剂局部地喷射到所施加的漆上，从而允许漆的受控的后处理。

在一个实施方案中，在喷涂漆和用溶剂喷射所施加的漆之间，将所施加的 漆的溶剂比例降低到所施加的漆凝固的程度。术语“凝固”应理解为表示所施 加的漆的粘度增加以致所施加的漆不再流动直到进一步加工。特别是在衬底具 有表面形貌的情况下，重要的是漆凝固以便衬底的边缘和斜坡保持可靠地覆盖 有漆。

直到在用溶剂喷射时和在用溶剂喷射期间，所施加的漆的溶剂比例必须保 持在一范围内，一方面，在该范围内所施加的漆的粘度足够高以确保漆不再流 动。另一方面，必须不能将溶剂比例降低到使得漆颗粒或者不规则不再能够在 用溶剂喷射期间溶解或者弄平。

优选地，在喷涂漆期间和/或之后加热衬底和/或所施加的漆，由此可以以简 单的方式降低所施加的漆的溶剂比例。

在本发明的一个实施方案中，按照预定的喷射模式(优选以平行路径)对 衬底喷射漆，其中，根据所述喷射模式同样地对所施加的漆喷射溶剂。这确保 用溶剂完全地喷射所施加的漆。

优选地，对衬底上的一个位置喷涂漆的时间点和用溶剂喷射该位置的时间 点之间的持续时间是恒定的，从而确保用溶剂喷射所施加的漆时，所施加的漆 一直具有相同的溶剂比例。

在本发明的一个实施方案中，通过漆喷嘴将漆喷射到衬底上并通过与漆喷 嘴间分开的溶剂喷嘴喷射溶剂，由此可以快速和有效地涂漆衬底。

优选地，漆喷嘴和溶剂喷嘴与衬底平行地在衬底上方移动，尤其是同时的， 从而对于这两个喷嘴只需要一个驱动机构。

根据优选的实施方案，规定当移动漆喷嘴和溶剂喷嘴时，溶剂喷嘴遵循漆 喷嘴的路径，从而确保所喷涂的漆然后被溶剂喷射。

在一个实施方案变化中，以至少一个与衬底平行的平面，以衬底上方的平 行路径移动漆喷嘴和溶剂喷嘴，其中，漆喷嘴和溶剂喷嘴之间的距离等于两倍 或者整数倍的所述路径之间的距离，由此，一方面，使用了简单的喷射模式， 而且另一方面，确保溶剂喷嘴采用与漆喷嘴相同的路径。

在本发明的一个实施方案中，如果对衬底施加多个漆层，在喷涂了最后的 漆层之后用溶剂喷射所施加的漆，从而将最后施加的漆层的不规则和漆颗粒弄 平或者去除。

当喷涂了最后的漆层时，该漆可以具有比先前喷涂的漆层的漆高的溶剂比 例。这确保在用溶剂喷射所喷涂的漆之前，不将所喷涂的漆的溶剂比例降低到 不再允许漆颗粒和不规则去除的程度。

即使对衬底只喷射单独的漆层，可以将所使用的漆的溶剂比例选择为比后 续不用溶剂喷射的常规喷涂工艺的情况高。

在本发明的一个实施方案中，用溶剂重复地喷射所施加的漆以便进一步改 进所施加的漆的表面质量。