[发明专利]基板检查方法及基板检查装置

权利要求书

1.一种基板检查装置，其特征在于，

所述基板检查装置对形成有多条布线的基板的布线进行导通检查，并且在进行导通检查时使一对触头导通接触到检查点而在检查点间实施四端子测定，

所述基板检查装置具备：

电源单元，将电力供给到所述检查点间，

上游侧电力端子，与多个所述触头中的每个触头对应，并与所述电源单元的上游侧连接，

下游侧电力端子，与多个所述触头中的每个触头对应，并与所述电源单元的下游侧连接，

检测单元，检测所述检查点间的电压，

上游侧检测端子，与多个所述触头中的每个触头对应，并与所述检测单元的上游侧连接，

下游侧检测端子，与多个所述触头中的每个触头对应，并与所述检测单元的下游侧连接，

连接端子，与多个所述触头中的每个触头对应，并且连接该多个触头，

选择单元，选择出实施四端子测定时用于与所述上游侧电力端子连接的所述触头、用于与所述下游侧电力端子连接的所述触头、用于与所述上游侧检测端子连接的所述触头、以及用于与所述下游侧检测端子连接的所述触头，以及

控制单元，分别使所述电源单元、所述检测单元和所述选择单元工作，促进用于实施所述四端子测定的测定处理，

所述控制单元，

通过所述连接端子和各所述布线，将多个所述触头之中由所述选择单元选择出的用于与所述上游侧检测端子连接的所述触头和用于与所述下游侧检测端子连接的所述触头以不经由用于与所述上游侧电力端子连接的所述触头和用于与所述下游侧电力端子连接的所述触头的方式串联连接，

使电力从所述电源单元供给到串联连接的检查点间，通过所述检测单元检测出该检查点间的电压值，基于该电压值判断该触头与该检查点的导通接触状态。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述控制单元在从所述电源单元供给电力时，从上游侧供给电力之后，从下游侧供给所述电力，由此判断所述导通接触状态。

3.一种基板检查方法，其特征在于，

所述基板检查方法对形成有多条布线的基板的布线进行导通检查，并且利用在进行该导通检查时使一对触头导通接触到设定在布线上的检查点来对检查点间进行测定，且用于提供测定用电力的上游侧电力端子和下游侧电力端子、以及用于进行该检查点间的测定的上游侧检测端子和下游侧检测端子来实施该检查点间的四端子测定，

其中：

通过各所述布线，将多个所述触头之中实施四端子测定时用于与所述上游侧检测端子连接的所述触头和用于与所述下游侧检测端子连接的所述触头以不经由用于与所述上游侧电力端子连接的所述触头和用于与所述下游侧电力端子连接的所述触头的方式串联连接，

将电力供给到串联连接的触头，进行该串联连接的触头间的电气测定，

由所述电力和所述电气测定结果，计算所述串联连接的触头间的电特性，

基于计算出的所述电特性，判定所述串联连接的触头与所述检查点的导通接触状态。

4.根据权利要求3所述的基板检查方法，其特征在于，

在对设置于所述基板的布线实施四端子测定之前实施所述判定。