[发明专利]直接曝光装置

权利要求书

1.一种直接曝光装置，其使用了光调制元件阵列，将图案曝光于从供给卷轴送出并被卷绕到卷绕卷轴上的长条状工件，所述直接曝光装置的特征在于，具有：

圆筒部件，其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间，在其周面的一定范围内保持长条状工件的同时进行旋转；

切线方向引导构件，其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置处，沿与上述圆筒部件的轴垂直截面中的径向垂直的切线方向引导长条状工件；以及

第1曝光构件，其至少在包含上述脱离位置的输送方向的前后一定范围内，对从上述圆筒部件脱离并沿上述切线方向延伸的长条状工件描绘图案，

拍摄形成于上述长条状工件的对准标记的对准相机配置在隔着上述圆筒部件而与上述曝光构件相对的位置处。

2.根据权利要求1所述的直接曝光装置，其中，

在上述前后一定范围内，从脱离位置到输送方向下游侧的范围比从脱离位置到输送方向上游侧的范围宽。

3.根据权利要求1所述的直接曝光装置，其中，

上述第1曝光构件的光轴和对准相机的光轴朝向铅垂方向。

4.根据权利要求1所述的直接曝光装置，其中，

上述圆筒部件至少在上述第1曝光构件的曝光位置和上述对准相机的拍摄位置处，将上述长条状工件保持在其周面上。

5.一种直接曝光装置，其使用了光调制元件阵列，将图案曝光于从供给卷轴送出并被卷绕到卷绕卷轴上的长条状工件，所述直接曝光装置的特征在于，具有：

圆筒部件，其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间，在其周面的一定范围内保持长条状工件的同时进行旋转；

切线方向引导构件，其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置处，沿与上述圆筒部件的轴垂直截面中的径向垂直的切线方向引导长条状工件；

第1曝光构件，其至少在包含上述脱离位置的输送方向的前后一定范围内，对从上述圆筒部件脱离并沿上述切线方向延伸的长条状工件描绘图案；

平面引导构件，其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置的下游侧，在长条状工件不与引导面接触的状态下将该长条状工件支撑为平面状；以及

第2曝光构件，其在上述平面引导构件上，对上述长条状工件进行曝光。

6.根据权利要求5所述的直接曝光装置，其中，

上述第2曝光构件的曝光区跨越上述长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置和平面引导构件上的位置。

7.根据权利要求5所述的直接曝光装置，其中，

上述第1曝光构件的曝光区和第2曝光构件的曝光区存在于大致同一平面上。

8.根据权利要求5所述的直接曝光装置，其中，

上述平面引导构件是具有气体吹出构件和气体抽吸构件的悬浮抽吸引导构件。