[发明专利]直接曝光装置

说明书

直接曝光装置，在将图案曝光于从供给卷轴送出并被卷绕到卷绕卷轴上的长条状工件的直接曝光装置中，能够在抑制曝光辊直径增大的同时，扩大曝光图像的焦点对准区，并使描绘图案的线条变细。该直接曝光装置具有：圆筒部件，其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间，在其周面的一定范围内保持长条状工件的同时进行旋转；引导构件，其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置处，沿与上述圆筒部件的轴垂直截面中的径向垂直的切线方向引导长条状工件；以及曝光构件，其在包含上述脱离位置的输送方向的前后一定范围内，对从上述圆筒部件脱离并沿上述切线方向延伸的长条状工件描绘图案。

技术领域

本发明涉及所谓的卷对卷方式的直接曝光装置，在从供给卷轴送出并被卷绕卷轴卷绕的长条状工件的输送中，对其正反的一个面描绘图案。

背景技术

通常，作为用于移动电话和移动设备等的电子电路基板(印刷电路基板)的基底材料，例如使用将厚度为0.1mm以下且长度为500mm以上(例如，100m)的长条状工件(感光性长条膜(在正反的至少一个面上涂覆感光体而成的合成树脂制柔软膜))形成为卷状的工件。此外，近年来，不使用转印掩模地将描绘光直接照射到基板而描绘出图案的直接曝光装置在市场中涌现出，对长条状工件也采用这种曝光方式的要求日益强烈。

作为这种卷对卷方式的直接曝光装置，为了进行连续的长条状工件的输送和曝光，公知有如下的直接曝光装置：利用位于供给卷轴与卷绕卷轴之间的平板状的输送机(曝光输送机)，保持长条状工件，并在该输送机上进行曝光(专利文献1)。

此外，还公知有如下的直接曝光装置：对在位于供给卷轴与卷绕卷轴之间的辊(曝光辊)的圆筒面上行进的长条状工件进行曝光(专利文献2)。

【专利文献1】日本特开2006-098720号公报

【专利文献2】日本特开2014-035412号公报

如果对在平面状的输送机上进行曝光的方式与在圆筒状的辊上进行曝光的方式进行比较，输送机方式在使工件的整个被曝光区域为平面状的方面比较优异，但是，由于流水线长度增长，曝光装置容易大型化，并且在曝光位置处局部进行观察的情况下的面精度较差。与此相对，由于辊方式能够缩短流水线长度，所以能够实现曝光装置的小型化，并且在面精度(面的平滑性)和工件进给精度的方面优异。另一方面，辊方式由于在圆筒面(曲面)上进行曝光，所以存在曝光图像的焦点对准区窄，细线的描绘较困难的问题。如果增大曝光辊直径，则该问题得到缓解，但牺牲了小型化。

此外，从工件的进给精度的观点来看，在输送机方式中，由于输送带的曲折或伸缩等影响，进给精度有可能降低。另一方面，对于辊方式，虽然在将工件吸附到辊上的吸附区中能够获得较高的进给精度，但如上所述，由于吸附区不是平面(为圆筒面)，所以存在曝光图像的焦点对准区窄的问题。

发明内容

本发明的第一目的在于获得一种直接曝光装置，在曝光辊方式的直接曝光装置中，能够在抑制曝光辊直径增大的同时，扩大曝光图像的焦点对准区，并使描绘图案的线条变细。

此外，本发明的第二目的在于获得一种直接曝光装置，在吸附工件地进行移动的辊方式的直接曝光装置中，能够灵活运用吸附输送工件的圆筒部件的高进给精度，保持工件的平面性来提高曝光图像的精度，并使描绘图案的线条变细。

本发明是一种直接曝光装置，其使用了光调制元件阵列，将图案曝光于从供给卷轴送出并被卷绕到卷绕卷轴上的长条状工件，所述直接曝光装置的特征在于，具有：圆筒部件，其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间，在其周面的一定范围内保持长条状工件的同时进行旋转；切线方向引导构件，其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置处，沿与上述圆筒部件的轴垂直截面中的径向垂直的切线方向引导长条状工件；以及第1曝光构件，其至少在包含上述脱离位置的输送方向的前后一定范围内，对从上述圆筒部件脱离并沿上述切线方向延伸的长条状工件描绘图案。