[发明专利]一种小芯片精密测量机

权利要求书

1.一种小芯片精密测量机，包括测试控制电路，其特征在于：还包括斜置在机身上的旋转测试盘，所述测试盘的下部装有形成接料池的月形板，所述测试盘具有圆周均布的容料孔；所述容料孔的前部为可容纳小芯片的容料段，底部为孔径小于容料段的通气段；所述测试盘的一边装有测试臂，所述测试臂的端部具有尖端安装测试头的测针；所述测试盘的上部前侧固定排出座，所述排出座上具有可与容料孔位置对应的分档排出孔，所述测试盘的后侧装有位置分别对应所述排出孔的吹气嘴，所述排出孔的前侧分别装有通往分档集料仓的导料管；所述测试头通过测试控制电路分别接各吹气嘴控制阀的受控端。

2.根据权利要求1所述的小芯片精密测量机，其特征在于：所述测试盘的转轴通过联轴器与伺服电机的转轴同轴连接，所述伺服电机的转轴后端固连光栅盘，所述伺服电机一侧装有感知光栅盘转位的定位传感器，所述定位传感器接测试控制电路对应的探测信号输入端，所述测试控制电路的转位控制输出端伺服电机的受控端。

3.根据权利要求2所述的小芯片精密测量机，其特征在于：所述测试臂安置在测试盘一边的测试座上；所述测试座固定在机身上，且装有升降驱动气缸；所述测试臂通过自身的穿孔与安装在测试座上的导柱构成升降移动副，且与升降驱动气缸的活塞杆连接；所述测试控制电路的升降控制输出端接升降驱动气缸的受控端。

4.根据权利要求3所述的小芯片精密测量机，其特征在于：所述月形板用透明材料制成。