[发明专利]压印装置、压印方法及物品制造方法

权利要求书

1.一种压印装置，其用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，所述压印装置包括：

基板台，其被构造为保持所述基板；

分配单元，其被构造为将所述压印材料分配在所述基板上；

照射单元，其被构造为照射固化所述压印材料的能量束；

接收单元，其被构造为接收从所述分配单元虚拟分配的压印材料；以及

控制器，其被构造为使所述虚拟分配的压印材料被来自所述照射单元的能量束照射，而不使所述虚拟分配的压印材料与所述模具接触。

2.根据权利要求1所述的压印装置，

其中，所述接收单元包括，在所述基板台上的、与所述基板被保持的位置不同的位置处保持的第一接收单元。

3.根据权利要求1所述的压印装置，

其中，所述分配单元在第一位置与第二位置之间可移动，在所述第一位置处，所述分配单元能够将所述压印材料分配到由所述基板台保持的所述基板上，所述第二位置在所述基板台的可移动范围之外；并且

所述接收单元包括第二接收单元，所述第二接收单元被构造为接收从位于所述第二位置处的所述分配单元虚拟分配的压印材料。

4.根据权利要求3所述的压印装置，

其中，所述照射单元包括第一照射单元和第二照射单元，所述第一照射单元被构造为向由所述基板台保持的所述基板照射能量束，所述第二照射单元被构造为向所述第二接收单元照射能量束。

5.根据权利要求4所述的压印装置，

所述照射单元包括单一能量束源和切换机构，所述切换机构被构造为在用于导向所述第一照射单元的路径与用于导向所述第二照射单元的路径之间，切换针对由所述能量束源生成的能量束的路径。

6.根据权利要求1所述的压印装置，

其中，所述接收单元包括在所述基板台保持所述基板的位置处保持的虚拟基板。

7.根据权利要求1所述的压印装置，

其中，所述控制器被构造为，基于在所述接收单元中能够接收所述虚拟分配的压印材料的区域的信息，来控制所述分配单元与所述接收单元之间的相对位置。

8.根据权利要求1所述的压印装置，

其中，所述控制器被构造为基于在所述接收单元中能够接收所述虚拟分配的压印材料的区域的信息，或虚拟分配的次数的信息，来交换所述接收单元。

9.根据权利要求1所述的压印装置，所述压印装置还包括：

存储单元，其被构造为存储所述接收单元。

10.根据权利要求1所述的压印装置，

其中，所述控制器被构造为，如果从前一虚拟分配起经过了预定间隔，则进行下一虚拟分配。

11.根据权利要求10所述的压印装置，

其中，所述控制器被构造为，在对象基板上的图案的形成完成的时间点、从所述前一虚拟分配起的间隔，将超过所述预定间隔的情况下，即使从所述前一虚拟分配起尚未经过所述预定间隔，仍在所述对象基板上形成图案之前进行所述下一虚拟分配。

12.根据权利要求1所述的压印装置，

其中，所述分配单元包括喷墨喷嘴。

13.一种制造物品的方法，所述方法包括：

通过使用根据权利要求1至12中任一项的压印装置，在基板上形成图案；并且

对形成有所述图案的所述基板进行处理，以制造所述物品。