[发明专利]压印装置、压印方法及物品制造方法

说明书

本发明提供了一种压印装置、压印方法及物品制造方法。所述压印装置包括：基板台；分配单元；照射单元；接收单元，其被构造为接收从所述分配单元虚拟分配的压印材料；以及控制器，其被构造为使所述虚拟分配的压印材料被来自所述照射单元的能量束照射，而不使所述虚拟分配的压印材料与所述模具接触。

技术领域

本发明涉及压印装置、压印方法以及物品制造方法。

背景技术

压印技术是能够转印具有纳米级尺寸的微细图案的技术。该技术实际上用作用于磁存储介质或半导体设备的批量生产的光刻技术。在压印技术中，通过使用模具在诸如硅晶片、玻璃板等的基板上形成微细图案，在所述模具中，通过使用诸如电子束描绘装置等的装置形成微细图案。通过利用树脂涂覆基板的上面来形成微细图案，然后，在使树脂与模具的图案接触的状态下固化树脂。针对涂覆到基板上的树脂，为了增强使树脂与图案接触时的填充性，以数皮升(picolitre)的液滴来将树脂涂覆(供给)到基板上。

例如，在通过喷墨方法的树脂涂覆方式中，除对于在基板上的图案形成的树脂分配之外，还有必要进行虚拟分配，以防止喷墨喷嘴堵塞，并且维持喷墨分配性能。虚拟分配也被称为初步分配或冲洗。然而，如果皮升单位的微小液滴未被固化而被残留，则会挥发，并且结果是挥发成分粘附到压印装置中的部件上。例如，如果树脂的挥发成分粘附到压印装置中的基板或掩模上，则在形成微细图案时会变成图案缺陷的诱因。

日本特开2014-41861号公报提出了在喷墨附近配设有排气机构以将在压印装置中发生的树脂的挥发成分排出到压印装置外部的压印装置。

在日本特开2014-41861号公报中提出的配设排气机构的方法中，仍然留有问题，即，存在未被完全排出的树脂的挥发成分会泄漏到压印装置之内，并且会发生图案缺陷的可能性。

发明内容

本发明提供了一种压印装置，该压印装置防止树脂的虚拟分配粘附到装置中的部件上。

本发明在其第一方面提供了一种压印装置，所述压印装置用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，所述压印装置包括：基板台，其被构造为保持所述基板；分配单元，其被构造为将所述压印材料分配在所述基板上；照射单元，其被构造为照射固化所述压印材料的能量束；接收单元，其被构造为接收从所述分配单元虚拟分配的压印材料；以及控制器，其被构造为使所述虚拟分配的压印材料被来自所述照射单元的能量束照射，而不使所述虚拟分配的压印材料与所述模具接触。

本发明在其第二方面提供了一种物品制造方法，所述物品制造方法使用由第一方面指定的压印装置。

本发明在其第三方面提供一种了压印方法，所述压印方法通过使压印材料与模具接触在基板上形成压印材料的图案，所述压印方法包括：将所述压印材料虚拟分配到不同于形成有所述图案的所述基板的接收单元上；在所述虚拟分配之后在所述基板上形成所述压印材料的所述图案；以及在所述图案形成之前，固化所述虚拟分配的压印材料，而不使所述虚拟分配的压印材料与所述模具接触。

本发明在其第四方面提供了一种压印装置，所述压印装置用于通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，所述压印装置包括：分配单元，其被构造为将所述压印材料分配在所述基板上；接收单元，其不同于形成有图案的所述基板，并且被构造为接收从所述分配单元虚拟分配的所述压印材料；以及固化单元，其被构造为固化分配到所述接收单元上的所述压印材料，而不使分配到所述接收单元上的所述压印材料与所述模具接触。

本发明在其第五方面提供了一种压印方法，所述压印方法通过使用模具在基板上形成压印材料的图案，所述压印方法包括：将所述压印材料虚拟分配到不同于形成有所述图案的所述基板的接收单元上；以及固化虚拟分配到所述接收单元上的所述压印材料。

通过以下参照附图对示例性实施例的描述，本发明的其他特征将变得清楚。

附图说明