[发明专利]一种彩色滤光片基板及其制造方法、液晶显示面板有效
申请号: | 201510625950.8 | 申请日: | 2015-09-28 |
公开(公告)号: | CN105093668B | 公开(公告)日: | 2018-05-29 |
发明(设计)人: | 陈珍霞;马小龙;李泳锐 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335 |
代理公司: | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人: | 朱绘;李心稳 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底基板 彩色滤光片基板 边框 金属网格层 黑矩阵层 网格线 液晶显示面板 第一表面 静电传导 投影区域 第二表面 金属网格 穿透率 面电阻 制造 申请 保证 | ||
1.一种彩色滤光片基板的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:
提供一衬底基板;
在衬底基板的第一表面上形成黑矩阵层的边框;
在与衬底基板的第一表面相对的第二表面上形成金属网格层的网格线,并使金属网格层的网格线与黑矩阵层的边框对应设置,且金属网格层的网格线在衬底基板上的投影区域位于黑矩阵层的边框在衬底基板上的投影区域的内部;
其中,在与衬底基板的第一表面相对的第二表面上形成金属网格层的网格线的步骤包括:
在衬底基板的第二表面上涂布光刻胶;
利用掩模板对光刻胶进行曝光并显影,形成缺口区域和残留区域;
在缺口区域和残留区域上沉积金属膜;
采用显影工艺去掉残留区域以及残留区域上沉积的金属膜,保留由缺口区域上沉积的金属膜,获得金属网格层;
其中,所述光刻胶的厚度为1.5μm至5μm,所述金属膜的厚度为10nm至100nm,沉积在所述缺口区域的金属膜与沉积在所述残留区域上的金属膜之间不连续。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述金属网格层包括多个网格单元,每一网格单元设置为与黑矩阵层的矩形单元一一对应。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述金属网格层包括多个网格单元,每一网格单元设置为与黑矩阵层的至少一个矩形单元对应。
4.如权利要求1-3中任一项所述的方法,其特征在于,所述缺口区域的宽度小于黑矩阵层的边框的宽度。
5.一种液晶显示面板,其特征在于,包括:
根据权利要求1-4任一项中的方法制得的彩色滤光片基板;
阵列基板,与彩色滤光片基板相对设置;
其中,所述金属网格层与阵列基板上的接地端连接。
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