[发明专利]靶材组件及其制造方法

权利要求书

1.一种靶材组件的制造方法，其特征在于，包括：

提供靶坯和背板，所述靶坯的待焊接面为第一焊接面，所述背板的待焊接面为第二焊接面；

对所述靶坯的第一焊接面进行表面处理，去除所述第一焊接面表面的氧化膜；

对所述靶坯的第一焊接面进行表面处理之后，在所述第一焊接面上涂覆第一焊料层；

将涂覆有所述第一焊料层的第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合，通过焊接工艺将所述靶坯焊接至所述背板上，形成靶材组件；

冷却所述靶材组件；

所述靶材组件的制造方法还包括：在所述第二焊接面上涂覆第二焊料层；

在所述第一焊接面上涂覆第一焊料层，在所述背板的第二焊接面上涂覆第二焊料层的步骤包括：将所述靶坯和背板置于加热板上；在所述第一焊接面和第二焊接面上放置焊料；加热所述靶坯和背板直至所述靶坯和背板的温度达到预设温度，熔化位于所述第一焊接面上和第二焊接面上放置的焊料，在所述第一焊接面上形成第一焊料层，在所述背板的第二焊接面上形成第二焊料层；

在所述第一焊接面上和第二焊接面上涂覆焊料层的步骤还包括：在熔化焊料时，在第一焊接面或第二焊接面上熔化的焊料中放置金属丝杆，以形成所述焊料层；

所述靶坯的第一焊接面的形状为长方形，放置所述金属丝杆的步骤包括：在所述第一焊接面或第二焊接面上放置多根直径相同的金属丝杆，所述多根金属丝杆沿所述靶坯延伸方向均匀排列放置于所述第一焊接面或第二焊接面内且互不相交。

2.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述靶坯的材料为铝。

3.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述靶坯的材料为纯铝，纯铝中铝的含量大于99.9999％。

4.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述第一焊料层和所述第二焊料层的材料均为铟。

5.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，对所述靶坯的第一焊接面进行表面处理的步骤包括：采用钢丝刷对所述第一焊接面进行表面处理，去除所述第一焊接面表面的氧化膜。

6.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述金属丝杆的直径为0.1mm至0.3mm。

7.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述金属丝杆的材料为铜或钼。

8.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述金属丝杆的根数为8至12根。

9.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，所述金属丝杆放置于所述靶坯的第一焊接面上；

所述靶坯的第一焊接面的形状为长方形，所述第一焊接面包括垂直于所述靶坯延伸方向的第一棱和第二棱，所述多根金属丝杆包括：靠近所述第一棱的第一金属丝杆，靠近所述第二棱的第二金属丝杆；

所述第一金属丝杆平行于所述第一棱，所述第一金属丝杆至所述第一棱的垂直距离为10cm至15cm；

所述第二金属丝杆平行于所述第二棱，所述第二金属丝杆至所述第二棱的垂直距离为10cm至15cm。

10.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，在所述第一焊接面上和第二焊接面上涂覆焊料层的步骤还包括：待所述焊料熔化后，对所述焊料进行超声波处理。

11.如权利要求4所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，在所述第一焊接面上和第二焊接面上涂覆焊料层后，将涂覆有所述焊料层的第一焊接面和第二焊接面相对设置并贴合之前，所述制造方法还包括：采用钢丝刷刮除所述第一焊接面或第二焊接面上焊料层表面的氧化皮。

12.如权利要求1所述的靶材组件的制造方法，其特征在于，冷却所述靶材组件的步骤中，采用压块对所述靶坯施加压力，所述压块的质量为150Kg至250Kg。