[发明专利]一种精馏尾气回收系统

权利要求书

1.一种精馏尾气回收系统，所述精馏尾气包括携带有磷、硼杂质的氯硅烷气体，其特征在于，所述回收系统包括反歧化塔和杂质吸附装置，在所述反歧化塔内，从上部进料口进入的四氯化硅物料对从下部进料口进入的精馏尾气进行淋洗并发生反歧化反应，反应生成的三氯氢硅及其携带的磷、硼杂质作为初步净化气从反歧化塔的气相出口输出，所述精馏尾气中的剩余物质和未反应的四氯化硅物料从反歧化塔的排液口排出，所述杂质吸附装置用于对所述初步净化气进行吸附处理，以去除其中的磷、硼杂质；

所述回收系统还包括冷却器，用于对所述精馏尾气进行冷却处理，冷却处理形成的不凝气，从冷却器的气相出口输出至反歧化塔下部的气相进料口，所述不凝气含有少量三氯氢硅气体和大量二氯二氢硅气体；冷却处理形成的冷凝液，从冷却器的液相出口输出至反歧化塔下部的液相进料口，所述冷凝液含有大量液相三氯氢硅和少量液相二氯二氢硅；从反歧化塔的气相进料口进入的所述不凝气在上升过程中与塔顶喷淋而下的四氯化硅物料逆流接触而不断发生反歧化反应。

2.根据权利要求1所述的回收系统，其特征在于，所述冷却器的冷却介质为7℃冷却水。

3.根据权利要求1所述的回收系统，其特征在于，所述冷却器的液相出口高于反歧化塔下部的液相进料口，以使所述冷凝液以自流的方式从反歧化塔下部的液相进料口进入反歧化塔内。

4.根据权利要求1所述的回收系统，其特征在于，所述回收系统还包括塔顶冷却器和回流泵，

所述塔顶冷却器用于对所述初步净化气进行冷却处理，以使所述初步净化气形成为冷凝液，并将冷却处理形成的冷凝液输出至回流泵进口；

所述回流泵用于将塔顶冷却器输出的冷凝液进行增压处理，并将塔顶冷却器输出的冷凝液的一部分作为塔顶回流液输出至反歧化塔上部的进料口，另一部分输出至杂质吸附装置。

5.根据权利要求4所述的回收系统，其特征在于，所述回流泵输出至反歧化塔的塔顶回流液的量占回流泵输送的冷凝液总量的35％-45％；回流泵输出至杂质吸附装置的冷凝液的量占回流泵输送的冷凝液总量的55％-65％。

6.根据权利要求4所述的回收系统，其特征在于，所述回收系统还包括设置在塔顶冷却器和回流泵之间的回流罐，用于暂时存储塔顶冷却器输出的冷凝液及缓冲系统的压力波动。

7.根据权利要求1所述的回收系统，其特征在于，所述回收系统还包括塔釜回流泵，用于将从反歧化塔的排液口排出的所述精馏尾气中的剩余物质和未反应的四氯化硅物料作为塔釜回流液进行增压处理，并将增压处理后的塔釜回流液输出至反歧化塔上部的进料口。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的回收系统，其特征在于，所述杂质吸附装置包括除硼吸附柱和除磷吸附柱。

9.根据权利要求1-7中任一项所述的回收系统，其特征在于，所述反歧化塔的工作压力为0.048MPa-0.052MPa。