[发明专利]一种精馏尾气回收系统

说明书

本发明提供一种精馏尾气回收系统，所述精馏尾气包括携带有磷、硼杂质的氯硅烷气体，所述回收系统包括反歧化塔和杂质吸附装置，在所述反歧化塔内，从上部进料口进入的四氯化硅物料对从下部进料口进入的精馏尾气进行淋洗并发生反歧化反应，反应生成的三氯氢硅及其携带的磷、硼杂质作为初步净化气从反歧化塔的气相出口输出，所述精馏尾气中的剩余物质和未反应的四氯化硅物料从反歧化塔的排液口排出，所述杂质吸附装置用于对所述初步净化气进行吸附处理，以去除其中的磷、硼杂质。本发明所述回收系统能够将精馏尾气中的氯硅烷较好地回收，从而节约了生产成本。

技术领域

本发明涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种应用于多晶硅生产过程中的精馏尾气回收系统。

背景技术

多晶硅是集成电路和光伏发电领域所采用的关键原材料，也是国家新能源开发所必须的原材料。在当下化石能源日益短缺的时代，新型能源的崛起已成为必然趋势。其中多晶硅作为新型能源的基础材料，对其纯度的要求也越来越高。多晶硅的生产过程能耗较高，国内很多的企业都面临着多晶硅产品质量不高、质量不稳定以及生产成本高等困境，使得提升和稳定多晶硅产品质量、降低多晶硅生产成本，以及提高多晶硅的市场竞争力显得尤为重要。

随着多晶硅行业竞争的激烈及国家环境监察力度的增加，在多晶硅生产过程中需要处理精馏系统排放的尾气(简称为精馏尾气)，以降低精馏尾气的排放量，减少三废的排放。

由于精馏尾气中含有大量的氯硅烷及磷、硼等杂质，为保障多晶硅产品质量，大部分生产企业均未对精馏尾气进行回收利用，而是直接通过碱液淋洗方式将精馏尾气处理掉，然而，采用这种处理方式，一方面造成多晶硅生产中氯硅烷的损失，另一方面造成多晶硅生产中碱液耗量的增加，使得多晶硅的生产成本居高不下。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中所存在的上述缺陷，提供一种精馏尾气回收系统，能够将精馏尾气中的氯硅烷较好地回收，从而节约了生产成本。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是：

本发明提供一种精馏尾气回收系统，所述精馏尾气包括携带有磷、硼杂质的氯硅烷气体，所述回收系统包括反歧化塔和杂质吸附装置，在所述反歧化塔内，从上部进料口进入的四氯化硅物料对从下部进料口进入的精馏尾气进行淋洗并发生反歧化反应，反应生成的三氯氢硅及其携带的磷、硼杂质作为初步净化气从反歧化塔的气相出口输出，所述精馏尾气中的剩余物质和未反应的四氯化硅物料从反歧化塔的排液口排出，所述杂质吸附装置用于对所述初步净化气进行吸附处理，以去除其中的磷、硼杂质。

优选地，所述回收系统还包括冷却器，用于对所述精馏尾气进行冷却处理，冷却处理形成的不凝气从冷却器的气相出口输出至反歧化塔下部的气相进料口，冷却处理形成的冷凝液从冷却器的液相出口输出至反歧化塔下部的液相进料口。

优选地，所述冷却器的冷却介质为7℃冷却水。

优选地，所述冷却器的液相出口高于反歧化塔下部的液相进料口，以使所述冷凝液以自流的方式从反歧化塔下部的液相进料口进入反歧化塔内。

优选地，所述回收系统还包括塔顶冷却器和回流泵，

所述塔顶冷却器用于对所述初步净化气进行冷却处理，以使所述初步净化气形成为冷凝液，并将冷却处理形成的冷凝液输出至回流泵进口；

所述回流泵用于将塔顶冷却器输出的冷凝液进行增压处理，并将塔顶冷却器输出的冷凝液的一部分作为塔顶回流液输出至反歧化塔上部的进料口，另一部分输出至杂质吸附装置。

优选地，所述回流泵输出至反歧化塔的塔顶回流液的量占回流泵输送的冷凝液总量的35％-45％；回流泵输出至杂质吸附装置的冷凝液的量占回流泵输送的冷凝液总量的55％-65％。

优选地，所述回收系统还包括设置在塔顶冷却器和回流泵之间的回流罐，用于暂时存储塔顶冷却器输出的冷凝液及缓冲系统的压力波动。