[发明专利]基板切断装置的运转方法和基板切断装置

权利要求书

1.一种基板切断装置的运转方法，上述基板切断装置具备：切断夹具，其载置基板；排气孔，其是该切断夹具所具有的排气孔；工具，其具有将上述基板切断的刃部；以及排气机构，其对通过该工具切断而产生的切屑进行抽吸，上述基板切断装置的运转方法的特征在于，包括：

利用上述排气孔对基板切断工序时产生的切屑进行抽吸的排气方法，其中上述基板切断工序是一边从以围绕上述刃部的方式喷射空气的喷射筒喷射空气，一边利用上述工具将上述基板切断的工序；以及

利用配置在上述切断夹具的周围的多孔板对非切断工序时飞散或浮游的切屑进行抽吸的排气方法，其中上述非切断工序是在将完成切断的上述基板从上述切断夹具取下、在切断夹具上没有载置基板的工序，

顺次地重复进行上述基板切断工序时的切屑的排气和上述非切断工序时的切屑的排气，使上述排气机构连续地进行运转。

2.一种基板切断装置，其特征在于，

上述基板切断装置具备：

切断夹具，其载置基板；

工具，其具有将上述基板切断的刃部和被附设成围绕该刃部的喷射筒；

工作台，其支撑上述切断夹具；

装置外壳，其以由该工作台划分出上室和下室的方式收纳上述工作台；

连结部件，其覆盖上述切断夹具的下方；

第一管道，其从该连结部件延伸；

多孔板，其以围绕上述切断夹具的方式设置于上述工作台；

腔室，其覆盖该多孔板的下方；

第二管道，其从该腔室延伸；

排气机构，其与上述第一管道和上述第二管道连接并产生负压；

挡板，其将上述第一管道和上述第二管道中的一方堵塞；

致动器，其使该挡板摆动；以及

控制部，在利用上述工具切断上述基板时，上述控制部通过上述挡板堵塞上述第二管道，在更换上述基板时，上述控制部通过上述挡板堵塞上述第一管道。

3.根据权利要求2所述的基板切断装置，其特征在于，

上述控制部连续地运转上述排气机构。