[发明专利]基板切断装置的运转方法和基板切断装置

说明书

基板切断装置的运转方法和基板切断装置。本发明的课题在于，提供在基板切断装置中无需在切断后对基板进行清扫的那样的浮游物高效去除技术。基板切断装置的运转方法中包括如下工序：基板切断工序，利用工具将基板切断，在该切断中产生的切屑经切断夹具通过排气机构被排出；以及浮游物排出工序，在将完成切断的基板从切断夹具取下并将下一基板载置到切断夹具上时，向切断夹具的周围飞散或浮游的切屑经多孔板通过排气机构被排出。由于在浮游物排出工序中强制地将浮游物排出，因此无需担心浮游物附着于基板。

技术领域

本发明涉及基板、特别是安装基板的切断装置及其运转方法。

背景技术

在将设备安装于基板后将安装基板的边缘切除、以及将安装基板切断、分割。使用被称为铣刀的旋转工具进行切断。伴随切断而产生切屑。若对该切屑置之不理，则会发生附着于基板等不良情况。

因此，以往提出有切屑排出技术(例如，参照专利文献1(图1、图4))。

如专利文献1中的图4所示，在载置基板的托盘主体(21)(带括弧数字表示专利文献1中记载的标号。下面，同样)安装有集尘嘴(9)。

如专利文献1中的图1所示，集尘嘴(9)经管道(11)而与抽吸装置(10)连结。并且，利用高速旋转的铣刀(6)将基板切断。伴随切断而产生切屑。该切屑在专利文献1的图4中如实线箭头及虚线箭头那样被抽吸到集尘嘴(9)内。

然而，铣刀(6)按每分钟几万转旋转。产生的切屑的大部分经集尘嘴(9)而被排出，但产生的切屑的一部分由于高速旋转的铣刀的离心力而向基板上方飞散、浮游。若该浮游物附着到基板上，则产品价值降低。因此，在切断后增加对基板进行清扫的作业，生产成本增高。

在寻求减少生产成本的过程中，期望无需在切断后对基板进行清扫的浮游物高效去除技术。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-52097号公报

发明内容

本发明的课题在于，提供在基板切断装置中无需在切断后对基板进行清扫的那样的浮游物高效去除技术。

用于解决课题的手段

本发明第一方面为一种基板切断装置的运转方法，所述基板切断装置具备：切断夹具，其载置基板；多孔板，其配置在该切断夹具的周围；工具，其将上述基板切断；以及排气机构，其经上述切断夹具或上述多孔板对该工具产生的切屑进行抽吸，所述基板切断装置的运转方法的特征在于，包括如下工序：

基板切断工序，利用上述工具将上述基板切断，在该切断中产生的切屑经上述切断夹具通过上述排气机构被排出；以及

浮游物排出工序，在将完成切断的上述基板从上述切断夹具取下并将下一基板载置到上述切断夹具上时，向上述切断夹具的周围飞散或浮游的切屑经上述多孔板通过上述排气机构被排出。

本发明第二方面的特征在于，顺次地重复进行基板切断工序和浮游物排出工序，并且连续地运转排气机构。

根据本发明的第三方面，一种基板切断装置，其特征在于，所述基板切断装置具备：切断夹具，其载置基板；工具，其将上述基板切断；工作台，其支撑上述切断夹具；装置外壳，其以由该工作台划分出上室和下室的方式收纳上述工作台；连结部件，其覆盖上述切断夹具的下方；第一管道，其从该连结部件延伸；多孔板，其以围绕上述切断夹具的方式设置于上述工作台；腔室，其覆盖该多孔板的下方；第二管道，其从该腔室延伸；排气机构，其与上述第一管道和上述第二管道连接并产生负压；挡板，其将上述第一管道和上述第二管道中的一方堵塞；致动器，其使该挡板摆动；以及控制部，在利用上述工具切断上述基板时，所述控制部通过上述挡板堵塞上述第二管道，在更换上述基板时，所述控制部通过上述挡板堵塞上述第一管道。