[发明专利]制造显示装置的装置和方法

说明书

公开了一种制造显示装置的装置和方法。在一方面，该装置包括室和形成在室中并被配置为形成至少一个无机层的无机层形成喷嘴单元。该装置还包括形成在室中并被配置为形成至少一个有机层的有机层形成喷嘴单元，其中，有机层形成喷嘴单元与无机层形成喷嘴单元基本上直列地布置。该装置还包括形成在无机层形成喷嘴单元与有机层形成喷嘴单元之间并被配置为喷射惰性气体的分隔喷嘴单元。

本申请要求于2014年10月6日在韩国知识产权局提交的第10-2014-0134487号韩国专利申请的权益，该韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。

技术领域

所描述的技术总体上涉及一种制造显示装置的装置和方法。

背景技术

便携式或移动设备已被广泛使用。例如，平板电脑是移动电子设备的常见示例，除了诸如移动电话的小尺寸电子设备之外。

这些电子设备包括显示单元，用于支持各种功能并向用户提供诸如图像或视频的可视信息。最近，随着用于驱动显示单元的组件已经被小型化，显示单元已经逐渐地增大尺寸。此外，已经开发出能够被弯曲(即，具有相对于平坦构造的预定角度)的显示器。

发明内容

一个发明方面是一种用于制造显示装置的装置和制造显示装置的方法。

另一个方面是一种用于制造显示装置的装置，该装置包括：室；无机层形成喷嘴单元，形成在室中，用于形成无机层；有机层形成喷嘴单元，形成在室中，并被布置为无机层形成喷嘴单元顺列以形成有机层；以及分隔喷嘴单元，形成在无机层形成喷嘴单元与有机层形成喷嘴单元之间以喷射惰性气体。

无机层形成喷嘴单元和分隔喷嘴单元以及有机层形成喷嘴单元和分隔喷嘴单元可被形成为彼此分隔开，室中的气体可在无机层形成喷嘴单元与分隔喷嘴单元之间以及有机层形成喷嘴单元与分隔喷嘴单元之间被抽吸。

所述装置还可包括形成在所述室中以直线地移动的传送单元，其中，其上形成有显示单元的基底被安装在传送单元上。

无机层形成喷嘴单元可包括：源气体供给喷嘴单元，包括第一空间，源气体被供给到第一空间以被喷射；等离子体供给喷嘴单元，包括第二空间，反应气体被供给到第二空间以产生等离子体，等离子体供给喷嘴单元向外部喷射等离子体；以及吹扫气体供给喷嘴单元，与源气体供给喷嘴单元和等离子体供给喷嘴单元中的至少一个分开，并供给吹扫气体。

等离子体供给喷嘴单元可包括：反应气体供给单元，形成在第二空间中并包括第三空间，使得可通过第三空间供给反应气体；以及等离子体供给喷嘴主体，被设置为围绕反应气体供给单元以与反应气体供给单元形成第二空间，并与反应气体供给单元产生电势差以从反应气体(从第三空间供给到第二空间的)产生等离子体。

有机层形成喷嘴单元可包括喷头，喷头供给来自外部的沉积气体以形成活化的离子物种并喷射活化的离子物种。

有机层形成喷嘴单元可包括：外部，形成外观；绝缘单元，形成在外部中并在其中包括喷头；以及第二电源单元，用于在外部与喷头之间产生电势差。

无机层形成喷嘴单元、分隔喷嘴单元和有机层形成喷嘴单元可顺序地布置。

有机层形成喷嘴单元、分隔喷嘴单元和无机层形成喷嘴单元可顺序地布置。

无机层形成喷嘴单元和有机层形成喷嘴单元中的至少一者可设置为多个。

分隔喷嘴单元可形成在两个相邻的无机层形成喷嘴单元之间或两个相邻的有机层形成喷嘴单元之间。

所述装置还可包括卸载单元，卸载单元用于通过连接到所述室来从所述室卸载基底，在所述室中，其上形成有显示单元的基底被运送，并且通过形成无机层和有机层中的至少一个在显示单元上形成薄膜包封层。