[发明专利]柔性显示装置的制作方法及制得的柔性显示装置有效

专利信息
申请号: 201510655751.1 申请日: 2015-10-10
公开(公告)号: CN105226186B 公开(公告)日: 2018-06-01
发明(设计)人: 余赟;张启沛 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司;武汉华星光电技术有限公司
主分类号: H01L51/00 分类号: H01L51/00;H01L51/56
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人: 林才桂
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 柔性显示装置 基板 软玻璃 衬底基板 硬质载体 剥离层 制作 脆性 激光剥离 显示器件 隔热层 连接层 热冲击 粘结层 制程 增设 缓解
【权利要求书】:

1.一种柔性显示装置的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤1、提供一载体基板(1),在所述载体基板(1)上采用等离子体增强化学气相沉积方法沉积一连接层(2);

步骤2、在所述连接层(2)上制作柔性基板(3),所述柔性基板(3)包括一软玻璃基板(31)与至少设于所述软玻璃基板(31)一侧的一隔热层(32);

步骤3、在所述柔性基板(3)上形成阻挡层(4);

步骤4、在所述阻挡层(4)上形成显示结构单元(5)、及设于所述显示结构单元(5)上的封装结构单元(6);

步骤5、采用激光镭射的方法将所述载体基板(1)与柔性基板(3)分离,所述连接层(2)留在所述柔性基板(3)上,得到一柔性显示装置,所述柔性显示装置包括柔性基板(3)、设于所述柔性基板(3)下表面的连接层(2)、设于所述柔性基板(3)上的阻挡层(4)、设于所述阻挡层(4)上的显示结构单元(5)、及设于所述显示结构单元(5)上的封装结构单元(6);

所述连接层(2)为SiO2层或SiNx层。

2.如权利要求1所述的柔性显示装置的制作方法,其特征在于,所述柔性基板(3)包括一软玻璃基板(31)、及设于所述软玻璃基板(31)靠近阻挡层(4)一侧的一隔热层(32)。

3.如权利要求1所述的柔性显示装置的制作方法,其特征在于,所述柔性基板(3)包括一软玻璃基板(31)、及设于所述软玻璃基板(31)靠近连接层(2)一侧的一隔热层(32)。

4.如权利要求1所述的柔性显示装置的制作方法,其特征在于,所述柔性基板(3)包括一软玻璃基板(31)、设于所述软玻璃基板(31)靠近连接层(2)一侧的第一隔热层(320)、及设于所述软玻璃基板(31)靠近阻挡层(4)一侧的第二隔热层(321)。

5.如权利要求1所述的柔性显示装置的制作方法,其特征在于,所述隔热层(32)的材料为耐高温绝缘隔热材料;所述阻挡层(4)为SiO2层、SiNx层、或者由SiO2层和SiNx层交叉重叠构成的复合层。

6.一种柔性显示装置,其特征在于,包括柔性基板(3)、设于所述柔性基板(3)下表面的连接层(2)、设于所述柔性基板(3)上的阻挡层(4)、设于所述阻挡层(4)上的显示结构单元(5)、及设于所述显示结构单元(5)上的封装结构单元(6);

其中,所述柔性基板(3)包括一软玻璃基板(31)与至少设于所述软玻璃基板(31)一侧的一隔热层(32);

所述连接层(2)为SiO2层或SiNx层。

7.如权利要求6所述的柔性显示装置,其特征在于,所述柔性基板(3)包括一软玻璃基板(31)、及设于所述软玻璃基板(31)靠近阻挡层(4)一侧的一隔热层(32)。

8.如权利要求6所述的柔性显示装置,其特征在于,所述柔性基板(3)包括一软玻璃基板(31)、及设于所述软玻璃基板(31)靠近连接层(2)一侧的一隔热层(32)。

9.如权利要求6所述的柔性显示装置,其特征在于,所述柔性基板(3)包括一软玻璃基板(31)、设于所述软玻璃基板(31)靠近连接层(2)一侧的第一隔热层(320)、及设于所述软玻璃基板(31)靠近阻挡层(4)一侧的第二隔热层(321)。

10.如权利要求6所述的柔性显示装置,其特征在于,所述隔热层(32)的材料为耐高温绝缘隔热材料;所述阻挡层(4)为SiO2层、SiNx层、或者由SiO2层和SiNx层交叉重叠构成的复合层。

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