[发明专利]柔性显示装置的制作方法及制得的柔性显示装置

说明书

本发明提供一种柔性显示装置的制作方法及制得的柔性显示装置，本发明的柔性显示装置的制作方法，通过采用一连接层代替现有技术中的剥离层和粘结层，既能够增强柔性衬底基板与硬质载体基板之间的结合强度，又可以作为剥离层容易实现柔性衬底基板与硬质载体基板的分离；又通过在软玻璃基板的一侧或两侧增设隔热层，能够隔绝高温制程、ELA过程、激光剥离过程中产生的热量，缓解热量对软玻璃基板及显示器件产生的热冲击，避免因软玻璃基板脆性增加而造成裂纹，提高制得的柔性显示装置的性能。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示装置的制作方法及制得的柔性显示装置。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Display，OLED)显示装置具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽，可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，应用范围越来越广泛，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。随着OLED技术的发展，利用OLED的柔性优势产生了柔性OLED显示装置，因其具有可弯折易携带的特点，已成为显示技术领域研究和开发的主要领域。

目前可用于柔性OLED显示装置的基板有不锈钢薄片、聚合物塑料、或软玻璃基板等。其中不锈钢薄片表面粗糙度太大，应用中需增加平坦化层，成本较高；聚合物塑料薄膜和软玻璃基板是目前研究的热点。在柔性OLED显示装置的制作过程中，把柔性基板与玻璃载体完整的分离工艺是制程中的关键技术。

如图1所示是现有的一种柔性基板母板的结构示意图，所述柔性基板母板包括载体基板10、设于所述载体基板10上的剥离层20、设于所述剥离层20上的粘结层30、及贴附于所述粘结层30上的软玻璃基板40。在制作柔性显示装置时，还需要在软玻璃基板40上制作显示结构单元和封装结构单元，最后通过激光剥离制程将柔性显示装置从载体基板10上剥离下来。

与塑料薄膜相比，软玻璃基板具有与硬质玻璃相同的电学性能，具有一定的阻挡水氧能力。但是上述现有技术也存在一定的问题：现有的OLED显示装置中多采用LTPS(LowTemperature Poly-Silicon，低温多晶硅)TFT工艺或氧化物半导体(OxideSemiconductor，OS)TFT工艺，在ELA(Excimer Laser Annealer，准分子激光退火)制程中、其它高温制程、及激光剥离制程中都不可避免的导致软玻璃基板的脆性增加，使得软玻璃基板产生裂纹并扩展，影响软玻璃基板上部显示结构单元的性能，降低产品良率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种柔性显示装置的制作方法，能够降低高温制程、及激光镭射过程中高热量对软玻璃基板的热冲击，以防止软玻璃基板脆性增加造成裂纹，影响显示器件的性能和产品良率。

本发明的目的还在于提供一种柔性显示装置，软玻璃基板没有裂纹，显示器件性能良好，易于制作且产品良率高。

为实现上述目的，本发明提供一种柔性显示装置的制作方法，包括如下步骤：

步骤1、提供一载体基板，在所述载体基板上采用等离子体增强化学气相沉积方法沉积一连接层；

步骤2、在所述连接层上制作柔性基板，所述柔性基板包括一软玻璃基板与至少设于所述软玻璃基板一侧的一隔热层；

步骤3、在所述柔性基板上形成阻挡层；

步骤4、在所述阻挡层上形成显示结构单元、及设于所述显示结构单元上的封装结构单元；

步骤5、采用激光镭射的方法将所述载体基板与柔性基板分离，所述连接层留在所述柔性基板上，得到一柔性显示装置，所述柔性显示装置包括柔性基板、设于所述柔性基板下表面的连接层、设于所述柔性基板上的阻挡层、设于所述阻挡层上的显示结构单元、及设于所述显示结构单元上的封装结构单元。