[发明专利]一种风刀及具有风刀的湿法处理装置在审

专利信息
申请号: 201510657375.X 申请日: 2015-10-13
公开(公告)号: CN105226133A 公开(公告)日: 2016-01-06
发明(设计)人: 张淋;程强强;黄洪杰 申请(专利权)人: 苏州宝馨科技实业股份有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;F26B21/00
代理公司: 广州三环专利代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫
地址: 215151 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 湿法 处理 装置
【权利要求书】:

1.一种风刀,其特征在于,包括进风部(3)和出风部(2),所述进风部(3)与出风部(2)连通,所述进风部(3)设置有进风口(32),所述出风部(2)设置有多个排风通道(22),每个排风通道(22)向水平面倾斜设置,所述排风通道(22)与水平面的夹角为排风通道(22)的倾斜角度,且多个排风通道(22)的倾斜角度不完全相同。

2.根据权利要求1所述的风刀,其特征在于,所述排风通道(22)的孔径范围为0.5mm-1.5mm。

3.根据权利要求1所述的风刀,其特征在于,所述出风部(2)和进风部(3)均为长条体,所述出风部(2)上远离进风部(3)的端部为排风部(23),所述排风通道(22)设置在所述排风部(23)上。

4.根据权利要求3所述的风刀,其特征在于,所述排风部(23)上设置有多个排风通道组,每个排风通道组包括多个排风通道(22),每个排风通道组的多个排风通道(22)排成一排,每个排风通道(22)与排风部(23)端面形成夹角,所述夹角范围为40°-80°。

5.根据权利要求4所述的风刀,其特征在于,每一个排风通道组的排风通道(22)沿着排风部(23)的长度方向设置,任意两个排风通道组的排风通道(22)交错分布。

6.根据权利要求4或5所述的风刀,其特征在于,每个排风通道(22)在出风方向上均向着出风部(2)长度方向的同一侧面倾斜,同一个排风通道组的排风通道(22)的倾斜角度均相同,越靠近所述同一侧面的排风通道组中排风通道(22)的倾斜角度越小。

7.根据权利要求6所述的风刀,其特征在于,相邻两个排风通道组的排风通道(22)的倾斜角度差值均相等。

8.根据权利要求1-7中任意一项所述的风刀,其特征在于,所述进风部(3)内部具有进风腔(31),所述出风部(2)内部具有排风腔(21),所述进风腔(31)的宽度大于排风腔(21)的宽度,所述进风部(3)和出风部(2)均由玻璃纤维增强环氧树脂板制成。

9.根据权利要求8所述的风刀,其特征在于,所述进风部(3)上远离出风部(2)的表面为中部高两边低的倾斜结构,所述倾斜结构由倾斜结构中部向进风部(3)上沿着长度方向的两个侧面倾斜而形成。

10.一种具有风刀的湿法处理装置,其特征在于,包括两个如权利要求1-9中任意一项所述的风刀,两个风刀的排风部(23)相对设置。

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