[发明专利]一种风刀及具有风刀的湿法处理装置在审
申请号: | 201510657375.X | 申请日: | 2015-10-13 |
公开(公告)号: | CN105226133A | 公开(公告)日: | 2016-01-06 |
发明(设计)人: | 张淋;程强强;黄洪杰 | 申请(专利权)人: | 苏州宝馨科技实业股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;F26B21/00 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫 |
地址: | 215151 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 具有 湿法 处理 装置 | ||
1.一种风刀,其特征在于,包括进风部(3)和出风部(2),所述进风部(3)与出风部(2)连通,所述进风部(3)设置有进风口(32),所述出风部(2)设置有多个排风通道(22),每个排风通道(22)向水平面倾斜设置,所述排风通道(22)与水平面的夹角为排风通道(22)的倾斜角度,且多个排风通道(22)的倾斜角度不完全相同。
2.根据权利要求1所述的风刀,其特征在于,所述排风通道(22)的孔径范围为0.5mm-1.5mm。
3.根据权利要求1所述的风刀,其特征在于,所述出风部(2)和进风部(3)均为长条体,所述出风部(2)上远离进风部(3)的端部为排风部(23),所述排风通道(22)设置在所述排风部(23)上。
4.根据权利要求3所述的风刀,其特征在于,所述排风部(23)上设置有多个排风通道组,每个排风通道组包括多个排风通道(22),每个排风通道组的多个排风通道(22)排成一排,每个排风通道(22)与排风部(23)端面形成夹角,所述夹角范围为40°-80°。
5.根据权利要求4所述的风刀,其特征在于,每一个排风通道组的排风通道(22)沿着排风部(23)的长度方向设置,任意两个排风通道组的排风通道(22)交错分布。
6.根据权利要求4或5所述的风刀,其特征在于,每个排风通道(22)在出风方向上均向着出风部(2)长度方向的同一侧面倾斜,同一个排风通道组的排风通道(22)的倾斜角度均相同,越靠近所述同一侧面的排风通道组中排风通道(22)的倾斜角度越小。
7.根据权利要求6所述的风刀,其特征在于,相邻两个排风通道组的排风通道(22)的倾斜角度差值均相等。
8.根据权利要求1-7中任意一项所述的风刀,其特征在于,所述进风部(3)内部具有进风腔(31),所述出风部(2)内部具有排风腔(21),所述进风腔(31)的宽度大于排风腔(21)的宽度,所述进风部(3)和出风部(2)均由玻璃纤维增强环氧树脂板制成。
9.根据权利要求8所述的风刀,其特征在于,所述进风部(3)上远离出风部(2)的表面为中部高两边低的倾斜结构,所述倾斜结构由倾斜结构中部向进风部(3)上沿着长度方向的两个侧面倾斜而形成。
10.一种具有风刀的湿法处理装置,其特征在于,包括两个如权利要求1-9中任意一项所述的风刀,两个风刀的排风部(23)相对设置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的