[发明专利]部件压接装置有效

专利信息
申请号: 201510660687.6 申请日: 2015-10-14
公开(公告)号: CN105529287B 公开(公告)日: 2020-08-11
发明(设计)人: 龟田明;辻慎治郎 申请(专利权)人: 松下知识产权经营株式会社
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/603
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 刘建
地址: 日本国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 部件 装置
【权利要求书】:

1.一种部件压接装置,其通过压接工具吸附膜状部件,并将该吸附的膜状部件的相对于基板的压接部位压在基板上而将所述膜状部件压接在所述基板上,所述部件压接装置的特征在于,

所述压接工具具备:

块保持部,其具备沿水平面内的一个方向延伸的引导件;

多个第一吸附块,其设为沿着所述块保持部的所述引导件移动自如,对所述膜状部件的所述压接部位的上方部进行吸附;

第二吸附块,其设为沿着所述块保持部的所述引导件移动自如,对所述膜状部件的相对于基板的非压接部位的上方部进行吸附;以及

块固定机构,其将所述多个第一吸附块以及所述第二吸附块固定在所述引导件内的所期望的位置,

所述第二吸附块借助在将所述膜状部件压向所述基板的方向上弹性变形自如的按压力吸收构件来对所述膜状部件的所述非压接部位的上方部进行吸附。

2.根据权利要求1所述的部件压接装置,其特征在于,

所述第二吸附块设置在所述多个第一吸附块的列的外侧的位置。

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