[发明专利]一种AL刻蚀机台热量再利用的装置及方法

说明书

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种AL刻蚀机台热量再利用的装置及方法，本发明通过在原有AL刻蚀机台上添加一在第一干燥腔体的输出端口添加一分流阀，使经过第一干燥腔体干燥后的第一气体中的一部分流入第二干燥气体的输出端口，使该部分第一气体完成对第二气体的加热，采用本技术方案，可以实现AL刻蚀机台中的附属腔体中的高温气体的热量再利用，实现了对主蚀刻腔体的管路的加热，同时，无需外围的加热设备，在节约了相应的加热设备的购置和耗能成本的同时，达到了给主刻蚀腔体中排出的气体的加热效果。

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种AL刻蚀机台热量再利用的装置及方法。

背景技术

参见图1所示结构示意图，目前的AL刻蚀机台由两种腔体组成，一种为主蚀刻腔体，另一种为附属腔体，其中，主蚀刻腔体的温度设置为80度，附属腔体的温度设置为250度。主蚀刻腔体的废气主要为氯化物，通过管路排到净气腔。在排除的过程中由于氯化物在低温容易凝结为固态，所以在排气的干燥舱室出口端到净气腔进口端的管路用加热带进行加热。而附属腔体主要为碳氧化合物，低温不会凝固，管路也不需要加热。

但是，主蚀刻腔体的温度低，需要加热，而附属腔体的高温废气排出的废气为250度左右的高温气体，因此，如何能将附属腔体排出的高温废弃的热能来加热主蚀刻腔体排出的气体成为本领域技术人员面临的一大难题。

发明内容

鉴于上述问题，本发明提供AL刻蚀机台热量再利用的装置及方法，通过在原有AL刻蚀机台上添加一在第一干燥腔体的输出端口添加一分流阀，使经过第一干燥腔体干燥后的第一气体中的一部分流入第二干燥气体的输出端口，使该部分第一气体完成对第二气体的加热，该技术方案具体为：

一种AL刻蚀机台热量再利用的装置，其中，所述装置包括：

附属腔体以及主蚀刻腔体；

第一干燥腔室，与所述附属腔体贯通连接，以干燥所述附属腔体流出的第一气体；

第二干燥腔室，与所述主蚀刻腔体贯通连接，以干燥所述主蚀刻腔体流出的第二气体；

分流阀，包括一输入端口和至少两个输出端口，所述输入端口与所述第一干燥腔室连接，所述第一输出端口将所述输入端口输入的部分气体流入净气腔，所述第二输出端口通过一温度计流入净气腔。

其中，所述第二干燥腔室与所述第二输出端口连接，所述第二干燥腔室流出的气体经过所述温度计流入所述净气腔。

上述的AL刻蚀机台热量再利用的装置，其中，所述分流阀的第二输出端口通过一压力计与所述第二干燥腔室的输出端口连接。

上述的AL刻蚀机台热量再利用的装置，其中，所述第二气体为氯化物气体。

上述的AL刻蚀机台热量再利用的装置，其中，所述氯化物气体的温度为70-90摄氏度。

上述的AL刻蚀机台热量再利用的装置，其中，所述第一气体为碳氧化合物。

上述的AL刻蚀机台热量再利用的装置，其中，所述碳氧化合物气体的温度为240-260摄氏度。

一种AL刻蚀机台热量再利用的方法，其中，该方法基于上述的AL刻蚀机台热量再利用的装置，所述方法包括：

带状腔室流出第一气体及主蚀刻腔体流出第二气体；

所述第一气体经过第一干燥腔室干燥后流出及所述第二气体经过第二干燥腔室干燥后流出；

部分第一气体经过分流阀的第二输出端口流出，根据所述经所述第二输出端口流出的第一气体的压力值调节分流阀的开度；

经过第二干燥腔室干燥后的第二气体经过所述第一气体加热后，经过一温度计测量所述混合气体的温度后流入干燥室。