[发明专利]具备末端执行器的机器人及其运行方法

权利要求书

1.一种末端执行器，安装在机器人的机械臂上，其特征在于，具备：

多个托板部件，构成为能够分别保持基板，上述多个托板部件中的至少一个托板部件能够相对于其它的托板部件移动；

托板支撑部，支撑上述多个托板部件，与上述多个托板部件一体地被上述机器人驱动；

托板驱动单元，使上述至少一个托板部件相对于其它的托板部件移动，切换成下述的两种状态，即在相对于由上述托板部件保持的上述基板的表面垂直的基板垂线方向上，上述至少一个托板部件的基板保持面与上述其它的托板部件的基板保持面相比位于基板保持侧的状态，和上述其它的托板部件的上述基板保持面与上述至少一个托板部件的上述基板保持面相比位于基板保持侧的状态；

上述多个托板部件分别具有固定单元，在运送上述基板之际固定上述基板，使上述基板不脱离上述托板部件；

上述固定单元包含具有能够释放地与上述基板的缘部抵接的可动抵接部的边缘引导机构；

上述多个托板部件各自的上述边缘引导机构相互独立地被驱动。

2.如权利要求1所述的末端执行器，其特征在于，上述多个托板部件构成为在上述基板垂线方向上观察时相互不重合。

3.如权利要求1或2所述的末端执行器，其特征在于，上述托板驱动单元移动上述托板部件的方向是上述基板垂线方向。

4.如权利要求1或2所述的末端执行器，其特征在于，上述至少一个托板部件的上述基板保持面与上述其它的托板部件的上述基板保持面之间在上述基板垂线方向上的最大距离为上述基板的多级载置部上的基板配置间距的范围内。

5.如权利要求1或2所述的末端执行器，其特征在于，上述基板垂线方向上的上述多个托板部件整体的最大厚度为上述基板的多级载置部上邻接的载置部之间的托板可能存在厚度以下。

6.一种机器人，其特征在于，具备权利要求1至5中任一项所述的末端执行器，以及安装了上述末端执行器的机械臂。

7.如权利要求6所述的机器人，其特征在于，在上述机械臂上，除了上述末端执行器之外，还设有能够与上述末端执行器独立地驱动的追加的末端执行器。

8.如权利要求7所述的机器人，其特征在于，上述末端执行器的上述托板的上述基板保持面与上述追加的末端执行器的托板的基板保持面的间隔为上述基板的多级载置部上的基板配置间距。

9.如权利要求7所述的机器人，其特征在于，上述追加的末端执行器是权利要求1至5中任一项所述的末端执行器。

10.如权利要求7所述的机器人，其特征在于，上述追加的末端执行器具有能够分别保持上述基板地构成的多个托板部件，上述追加的末端执行器的上述托板部件彼此的间隔是固定的。

11.权利要求7至10中任一项所述的机器人的运行方法，其特征在于，具备：

使用上述末端执行器和上述追加的末端执行器双方，同时运送多个上述基板的工序；

使用上述末端执行器或者上述追加的末端执行器中的一个，运送一片或多个上述基板的工序。

12.权利要求6所述的机器人的运行方法，其特征在于，根据上述至少一个托板部件和上述其它的托板部件改变适用条件，上述适用条件是指清洁用和非清洁用的分别使用，以及/或者高温用和低温用的分别使用。