[发明专利]具备末端执行器的机器人及其运行方法

说明书

本申请为在先申请（申请日：2010年1月29日，申请号：201080011613.5，发明名称：具备末端执行器的机器人及其运行方法）的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种具备末端执行器的机器人及其运行方法，特别是涉及具备能够同时运送多片基板的末端执行器的机器人及其运行方法。

背景技术

在半导体、液晶显示板等的制造中，日益要求应对晶片或玻璃板等基板的高速运送、高清洁化。特别是在半导体制造领域中，例如要求用于从收纳晶片的盒中高速地取出晶片，并向运入目的地的装置（或者盒）内运送（或者相反地从该装置向盒中运送）的有效手段。

另一方面，在从某种装置中取出晶片之际，存在与其装置的特征相对应地根据进行该装置完成的处理之前的晶片、处理后的晶片区别用于运送的机器人的机械手（末端执行器）的情况。

例如，在晶片清洗装置中的机器人中，需要严格地区别用于对清洗前的肮脏状态的晶片进行操作的机械手，对清洗后的清洁的晶片进行操作的机械手。而且，在用于从以高温状态处理晶片的装置运出或者运入晶片的机器人中，需要区别对高温的晶片进行操作的机械手，和对常温的晶片进行操作的机械手。

在上述的晶片运送用机器人中，虽然机器人具备两个机械手，但分别是用于特定的晶片的专用机械手，因此即使在两个机械手的运用方法上下功夫以提高运送量也存在界限。

为了提高晶片运送的运送量，例如可考虑设置多台机器人，但这将导致设备成本增加，抵消了运输量的增加而产生的成本降低效果。而且，由于两台机器人不能够同时访问一个晶片盒，所以在提高运送量上也存在界限。

为了应对上述状况，例如考虑将多个机械手与盒内的晶片配置间距相配合而上下错开地相对于一个机器人机械臂固定安装，从晶片盒中同时运出或者运入多片晶片。例如，若将两个机械手与晶片配置间距相配合而上下错开地安装在机器人机械臂上，则能够同时运送两片晶片。

但是，在这样将多个机械手上下错开地固定安装在一个机器人机械臂上的情况下，存在因晶片盒内的缝隙位置而晶片插入时未使用侧的机械手与插入后的晶片或者盒相互干扰而不能够插入的问题。

例如，考虑到通过将两个机械手安装在一个机器人机械臂上的机器人而运入能够收纳25片晶片的晶片盒的情况。从运出侧的装置或者盒中两片两片取出的晶片依次转移到盒内，但当取出最后一片晶片并向晶片盒内插入时，则存在未保持晶片的机械手与运入后的晶片或者盒相互干扰的可能性。因此，产生了不能够运送第25片晶片的事态。

而且，即使在从运出侧的盒的任意的缝隙（例如第1号缝隙）插入与运入侧盒的任意的相同或者不同的缝隙（例如第3号缝隙）的情况下，也存在产生与已插入的晶片相互干扰的问题的情况。

在这样将多个机械手上下错开地固定安装在一个机器人机械臂上的机器人中，在其运用方法上存在制约，并存在缺少灵活性的问题。

发明内容

本发明是鉴于上述状况而提出的，其目的在于提供一种末端执行器，能够提高基板运送的运送量，同时基板运送的运用方法中的灵活性高。而且，本发明的目的还在于提供一种具备相同的末端执行器的机器人以及机器人的运行方法。

为了解决上述问题，本发明技术方案1的末端执行器安装在机器人的机械臂上，其特征在于，具备：多个托板部件，构成为能够分别保持基板，并能够改变上述托板部件彼此的托板间隔；托板支撑部，支撑上述多个托板部件，与上述多个托板部件一体地被上述机器人驱动；以及托板驱动单元，使上述多个托板部件中的至少一个相对于其它的托板部件移动，改变上述托板间隔。

本发明技术方案2是在上述技术方案1中，上述多个托板部件构成为在从相对于由上述托板部件保持的上述基板的表面垂直的基板垂线方向观察时相互不重合。

本发明技术方案3是在上述技术方案1或2中，上述托板间隔是相对于由上述托板部件保持的上述基板的表面垂直的基板垂线方向上的间隔。

本发明技术方案4是在上述技术方案3中，上述托板驱动单元移动上述托板部件的方向是上述基板垂线方向。

本发明技术方案5是在上述技术方案1至4的任一项中，上述多个托板部件分别具有上述基板抵接的基板保持部，构成为通过由上述托板驱动单元缩小上述托板间隔，上述多个托板部件的基板保持部彼此为大致同一面。

本发明技术方案6是在上述技术方案1至5的任一项中，构成为通过由上述托板驱动单元缩小上述托板间隔，相对于上述基板的表面垂直的基板垂线方向上的上述多个托板部件整体的厚度小于规定的厚度。