[发明专利]晶圆级电容式加速度计自动测试系统有效
| 申请号： | 201510664521.1 | 申请日： | 2015-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN105259372B | 公开（公告）日： | 2018-07-10 |
| 发明（设计）人： | 田波;方岚;焦贵忠;谢斌;郑宇 | 申请（专利权）人： | 华东光电集成器件研究所 |
| 主分类号： | G01P21/00 | 分类号： | G01P21/00 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 杨晋弘 |
| 地址： | 233042 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容式加速度计 继电器 数模转换器 微处理器 电容数字转换器 微处理器控制 自动测试系统 晶圆级 微处理器计算 电容变化量 参数测试 固定电极 直流电压 电容 静电力 上位机 采集 发送 施加 | ||
【权利要求书】：
1.晶圆级电容式加速度计自动测试系统，包括微处理器以及与微处理器相连的上位机，其特征在于，所述系统还包括四个电容数字转换器、第一数模转换器、第二数模转换器、第一继电器与第二继电器；所述第一继电器与第二继电器分别由微处理器控制通断，微处理器的输出接口分别连接第一数模转换器与第二数模转换器的输入接口，第一数模转换器的输出接口连接第一继电器常开触点的一端，第二数模转换器的输出接口连接第二继电器常开触点的一端，第一继电器常开触点与第二继电器常开触点的另一端分别与电容式加速度计的两个固定电极相连，电容式加速度计的可动极板接地；所述四个电容数字转换器由微处理器控制，并向微处理器发送所采集电容式加速度计的电容值。
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