[发明专利]晶圆级电容式加速度计自动测试系统有效

专利信息
申请号: 201510664521.1 申请日: 2015-10-14
公开(公告)号: CN105259372B 公开(公告)日: 2018-07-10
发明(设计)人: 田波;方岚;焦贵忠;谢斌;郑宇 申请(专利权)人: 华东光电集成器件研究所
主分类号: G01P21/00 分类号: G01P21/00
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 代理人: 杨晋弘
地址: 233042 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 电容式加速度计 继电器 数模转换器 微处理器 电容数字转换器 微处理器控制 自动测试系统 晶圆级 微处理器计算 电容变化量 参数测试 固定电极 直流电压 电容 静电力 上位机 采集 发送 施加
【说明书】:

发明公开晶圆级电容式加速度计自动测试系统,包括微处理器以及与微处理器相连的上位机,四个电容数字转换器、第一数模转换器、第二数模转换器、第一继电器与第二继电器;微处理器控制数模转换器与继电器,向电容式加速度计的其中两个固定电极上在不同时刻分别施加直流电压,产生静电力,模拟外界加速度,所述四个电容数字转换器由微处理器控制,并向微处理器发送所采集不同时刻的电容式加速度计的电容值,再由微处理器计算得出电容变化量,实现参数测试的目的,并判断出电容式加速度计的品质。

技术领域

本发明涉及微电子测试领域,具体是一种晶圆级电容式加速度计自动测试系统。

背景技术

公知的,电容式加速度计为差分电容结构,其内部有一个可动极板及多个固定电极,可动极板与质量块相连,多个固定电极与之相对,在可动极板与固定电极间形成差分电容对,当向电容式加速度计施加外部加速度时,其内部质量块发生位移,并引起加速度计内部的差分电容对发生变化,从而使得差分电容的差动电容值发生变化。利用这一特性,对封装好的加速度计成品电路施加机械冲击或振动,提供一个加速度信号, 由接口检测电路将电容变化量转换为电压、电流、频率等易于测量的电信号,再由数据采集卡等设备与接口检测电路进行通信,对接口检测电路的输出信号进行采集,就可以测量出电容式加速度计的各项参数。

但是在电容式加速度计的晶圆阶段,由于芯片放置在探针台上,处于平放状态,无法对电容加计芯片施加机械冲击、振动等外部加速度信号,因此,对于晶圆阶段的电容式加速度计,无法沿用其成品测试方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种晶圆级电容式加速度计自动测试系统,该系统能够对处于晶圆阶段的电容式加速度计进行参数测试,判断电容式加速度计的品质。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:

晶圆级电容式加速度计自动测试系统,包括微处理器以及与微处理器相连的上位机,所述系统还包括四个电容数字转换器、第一数模转换器、第二数模转换器、第一继电器与第二继电器;所述第一继电器与第二继电器分别由微处理器控制通断,微处理器的输出接口分别连接第一数模转换器与第二数模转换器的输入接口,第一数模转换器的输出接口连接第一继电器常开触点的一端,第二数模转换器的输出接口连接第二继电器常开触点的一端,第一继电器常开触点与第二继电器常开触点的另一端分别与电容式加速度计的其中两个固定电极相连,电容式加速度计的可动极板接地;所述四个电容数字转换器由微处理器控制,并向微处理器发送所采集电容式加速度计的电容值。

本发明的有益效果是,通过微处理器控制数模转换器与继电器,向电容式加速度计的其中两个固定电极上在不同时刻分别施加直流电压,产生静电力,模拟外界加速度,电容加速度计的质量块在静电力作用下会发生轻微的摆动,每个固定电极与质量块之间的电容值将发生变化,利用电容数字转换器采集不同时刻的电容值,再由微处理器计算得出电容变化量,实现参数测试的目的,并判断出电容式加速度计的品质。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明:

图1是本发明实施例一的电气原理示意图;

图2是本发明实施例二的电气原理示意图。

具体实施方式

实施例一

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