[发明专利]高可靠表面贴装玻封二极管的封装工艺有效
申请号: | 201510668834.4 | 申请日: | 2015-10-13 |
公开(公告)号: | CN105336768B | 公开(公告)日: | 2018-10-26 |
发明(设计)人: | 李东华;马捷;侯杰;韩希方;侯秀萍;张庆猛 | 申请(专利权)人: | 济南市半导体元件实验所 |
主分类号: | H01L29/66 | 分类号: | H01L29/66;H01L21/60 |
代理公司: | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人: | 李桂存 |
地址: | 250014*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 可靠 表面 贴装玻封 二极管 封装 工艺 | ||
1.一种表面贴装玻封二极管的封装工艺,所述二极管包括玻壳、位于玻壳内的芯片、套设在玻壳两端的引出端,引出端与芯片之间设有焊片,其特征在于:二极管的引出端与玻壳通过高温冶金工艺键合在一起,引出端与焊片、芯片通过高温冶金工艺键合在一起,高温冶金键合温度为620℃±20℃;具体包括以下步骤:
1)、制备芯片,设芯片硅层厚度为x,单位mm,芯片银层厚度0.01mm,芯片厚度为210μm±50μm,根据公式(x+0.01+y)*8.0×10-6=x*4.2×10-6+(0.01+y)*18.9×10-6计算出焊片厚度y,单位mm,实现热匹配,焊片为银铜锡片,银铜锡的重量比为6:3:1;
2)、用模具将芯片、焊片、引出端和玻壳装配在一起;
3)、氮气烧结,打开烧结炉,按工艺条件设置工作温度及氮气流量,氮气流量为1000ml/min±10ml/min,待炉口温度升到300℃±20℃时,将装有半成品器件的模具放至炉口预热至少10min;炉温升到620℃±20℃后,将模具推入恒温区,达到预定的恒温时间将模具拉至炉口冷却30min,最后取出模具自然冷却到室温,完成封装,实现引出端、焊片与芯片的冶金键合以及玻壳与引出端的密封。
2.根据权利要求1所述的表面贴装玻封二极管的封装工艺,其特征在于:所述恒温时间为10-30min。
3.根据权利要求2所述的表面贴装玻封二极管的封装工艺,其特征在于:所述芯片为势垒能耐600℃以上高温烧结的表面镀银的芯片。
4.根据权利要求3所述的表面贴装玻封二极管的封装工艺,其特征在于:所述引出端的材料为杜美丝,引出端的外表面为铜,里面为铁镍合金。
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