[发明专利]MOD法制备Al2O3阻氚涂层的方法

权利要求书

1.MOD法制备Al₂O₃阻氚涂层的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)用180#、240#、600#、1000#、1200#水砂纸由粗到细依次打磨CLF-1基片，打磨光滑后依次用1μm金刚石抛光剂、W1抛光粉、W1抛光膏抛光、电解抛光，除油，除锈，最后用去离子水冲洗干净后吹干待用；

(2)在室温下利用提拉镀膜机将商用MOD液均匀涂覆于CLF-1基片表面，该步骤的提拉速度为5～20cm/min，CLF-1基片在MOD液中静置300～2000s；

(3)再将CLF-1基片在空气中悬置3～10min后，在烤胶机内，120℃下烘焙5～30min，自然冷却至室温；

(4)涂覆有干凝胶的CLF-1基片再次放入烤胶机，500～600℃下烘焙5～20min，自然冷却至室温；

(5)重复上述步骤(2)～(4)10～20次；

(6)将上述步骤(5)得到的试样置于高温管式烧结炉中，在600℃～700℃温度下进行1～2h热处理，即可在CLF-1基片上制得Al₂O₃阻氚涂层，该步骤的升温速率5～10℃/min，降温时随炉自然冷却。