[发明专利]用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置

权利要求书

1.一种用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于：包括用于与减压扩散系统连接的冷凝瓶（1）、设置在末端的排废管（2）以及连接在冷凝瓶（1）与排废管（2）之间的真空泵（3），所述冷凝瓶（1）与真空泵（3）之间连接有至少一个气体过滤罐（4）。

2.根据权利要求1所述的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于：所述气体过滤罐（4）包括罐体（41）、顶盖（42）、进气管（43）和出气管（44），所述顶盖（42）盖设于罐体（41）顶部，所述进气管（43）和出气管（44）分设于罐体（41）的两侧部，首端的气体过滤罐（4）的进气管（43）与冷凝瓶（1）连接，末端的气体过滤罐（4）的出气管（44）与真空泵（3）连接，相邻两气体过滤罐（4）的进气管（43）与出气管（44）连接。

3.根据权利要求2所述的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于：所述罐体（41）两侧部分别开设有侧部螺纹孔（411），所述进气管（43）和出气管（44）分别与两个侧部螺纹孔（411）螺纹连接。

4.根据权利要求3所述的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于：所述顶盖（42）上开设有顶部螺纹孔（421），所述顶部螺纹孔（421）内螺纹连接有顶部堵塞（45），所述罐体（41）底部开设有底部螺纹孔（412），所述底部螺纹孔（412）内螺纹连接有底部堵塞（46）。

5.根据权利要求4所述的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于：顶盖（42）与罐体（41）之间通过紧固螺栓（47）连接。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于：所述气体过滤罐（4）设有两个，其中位于首端的气体过滤罐（4）内设有活性氧化铝填充腔（48），位于末端的气体过滤罐（4）内设有活性炭填充腔（49）。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于：所述真空泵（3）为隔膜真空泵，隔膜真空泵与排废管（2）之间连接有波纹管（5）。

8.根据权利要求6所述的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，其特征在于：所述真空泵（3）为隔膜真空泵，隔膜真空泵与排废管（2）之间连接有波纹管（5）。