[发明专利]用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置

说明书

技术领域

本发明主要涉及减压扩散工艺中的尾气处理技术，尤其涉及一种用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置。

背景技术

通过扩散炉制造PN结仍然是太阳电池生产过程中应用最广、最基本、最关键的工艺，减压扩散炉是实现减压扩散工艺的必备工艺设备。减压扩散工艺中的腐蚀性尾气的成分主要有氯气、偏磷酸蒸汽等。现有的减压扩散工艺中对其尾气的处理方式为在石英反应管底部设置尾气导出管，该尾气导出管经尾气冷凝装置、尾气中和瓶连接用于向外抽取尾气的真空泵。

现有技术方案中尾气处理装置没有考虑到扩散是高温工艺，尾气管在炉管内温度很高（扩散工艺温度1100℃），由于尾气管与冷凝瓶连接接触，加上真空发生器抽速较快，仅通过一个螺旋冷凝瓶方式不足以快速降低尾气温度，使偏磷酸完全液化，即不能达到偏磷酸最大化冷凝回收目的。另外，尾气中和瓶不便更换活性剂，没有考虑设备保养维护便捷性。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单可靠、回收过滤效果好的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，包括用于与减压扩散系统连接的冷凝瓶、设置在末端的排废管以及连接在冷凝瓶与排废管之间的真空泵，所述冷凝瓶与真空泵之间连接有至少一个气体过滤罐。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述气体过滤罐包括罐体、顶盖、进气管和出气管，所述顶盖盖设于罐体顶部，所述进气管和出气管分设于罐体的两侧部，首端的气体过滤罐的进气管与冷凝瓶连接，末端的气体过滤罐的出气管与真空泵连接，相邻两气体过滤罐的进气管与出气管连接。

所述罐体两侧部分别开设有侧部螺纹孔，所述进气管和出气管分别与两个侧部螺纹孔螺纹连接。

所述顶盖上开设有顶部螺纹孔，所述顶部螺纹孔内螺纹连接有顶部堵塞，所述罐体底部开设有底部螺纹孔，所述底部螺纹孔内螺纹连接有底部堵塞。

顶盖与罐体之间通过紧固螺栓连接。

所述气体过滤罐设有两个，其中位于首端的气体过滤罐内设有活性氧化铝填充腔，位于末端的气体过滤罐内设有活性炭填充腔。

所述真空泵为隔膜真空泵，隔膜真空泵与排废管之间连接有波纹管。

与现有技术相比，本发明的优点在于：

本发明的用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置，工艺气体在减压扩散系统中反应后输出尾气，尾气首先通过冷凝瓶，冷凝瓶螺旋管围绕杯体而成，杯中注满液体水，水冷螺旋管置于杯体上方，管中持续通过循环水用于液体水冷却，并用风机吹风，冷凝瓶可对尾气中的偏磷酸进行物理回收；而各气体过滤罐可对冷凝瓶出来的气体进行吸附过滤；过滤后的尾气再由排废管排出；该过程中，真空泵为动力源，保障减压扩散系统中反应气体的压力基本恒定。本发明冷凝瓶采用风冷和水冷相结合的冷凝方式对偏磷酸进行回收，再经过气体过滤罐吸附净化工艺，使得减压扩散系统中的反应气体能达到偏磷酸最大化冷凝回收的目的，并且，其结构简单、可靠。

附图说明

图1是本发明用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置的结构示意图。

图2是本发明用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置中气体过滤罐的主剖视结构示意图。

图3是本发明用于减压扩散系统的尾气回收过滤装置中气体过滤罐的俯视结构示意图。

图中各标号表示：

1、冷凝瓶；2、排废管；3、真空泵；4、气体过滤罐；41、罐体；411、侧部螺纹孔；412、底部螺纹孔；42、顶盖；421、顶部螺纹孔；43、进气管；44、出气管；45、顶部堵塞；46、底部堵塞；47、紧固螺栓；48、活性氧化铝填充腔；49、活性炭填充腔；5、波纹管。

具体实施方式

以下将结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。