[发明专利]一种多进口空腔加热支撑架有效

专利信息
申请号: 201510694985.7 申请日: 2015-10-22
公开(公告)号: CN106611733B 公开(公告)日: 2020-07-31
发明(设计)人: 吕光泉;吴凤丽;郑英杰;张建 申请(专利权)人: 沈阳拓荆科技有限公司
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L21/673;H01L21/67
代理公司: 沈阳维特专利商标事务所(普通合伙) 21229 代理人: 陈福昌
地址: 110179 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 进口 空腔 加热 支撑架
【权利要求书】:

1.一种多进口空腔加热支撑架,其特征在于,该加热支撑架包括支撑架上盘体,支撑架下盘体,导流槽盖板,陶瓷柱及陶瓷柱安装螺母;所述支撑架上盘体的下盘面设有凸台A,凸台B,陶瓷柱孔及热电偶孔,凸台A与凸台B形成环形沟槽,凸台B上分布有三个导流口,为媒介流入腔体内提供通道;所述陶瓷柱孔与热电偶孔的外围分别设有凸台C和凸台D;所述支撑架下盘体的上盘面上与上述陶瓷柱孔相对应的位置设有螺纹孔,在上盘面靠近中心的位置设有媒介入口、媒介出口及与上述热电偶孔位置相对应的热电偶安装螺纹孔,还设有以媒介入口为中心分别向支撑架下盘体外围开有的三个导流槽,每个导流槽的两侧分别有凸台E,用于承载导流槽盖板,每个导流槽的外端还设有终端孔,终端孔的位置在上述环形沟槽对应的范围内;所述导流槽盖板的外端设有与导流槽终端孔相对应的导流槽盖板端孔;

所述支撑架下盘体通过导流槽与导流槽盖板焊接后再与支撑架上盘体通过真空钎焊进行焊接,然后将陶瓷柱安装在陶瓷柱孔内,再采用陶瓷柱安装螺母通过螺纹孔对陶瓷柱进行固定形成空腔。

2.如权利要求1所述的一种多进口空腔加热支撑架,其特征在于,所述凸台A、凸台B、凸台C与凸台D的高度相等。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于沈阳拓荆科技有限公司,未经沈阳拓荆科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201510694985.7/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top