[发明专利]检测装置、基板架、检测基板架上基板位置的方法

权利要求书

1.一种检测装置，用于检测基板架上承载的基板的位置，所述基板架包括多个承载位，每个承载位用于承载一个基板，其特征在于，所述检测装置包括：

连接信号源的发射极，其用于设在承载位的边缘处，并位于所述承载位所承载的基板的上下两侧中的一侧；

至少一个连接检测器的接收极，其与所述发射极相对设置，并位于所述承载位所承载的基板的上下两侧中另的一侧。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

所述信号源为高频信号源；

所述检测器为电流检测器。

3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，

所述高频信号源产生的信号频率在600KHz至800KHz。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，

所述接收极有多个，各所述接收极分别连接不同的检测器。

5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，

所述多个接收极沿与检测装置所在的承载位边缘垂直的方向排列。

6.一种基板架，其特征在于，包括：

多个承载位，每个承载位用于承载一个基板；

检测装置，其为权利要求1至5中任意一项所述的检测装置。

7.根据权利要求6所述的基板架，其特征在于，

每个所述承载位设有一个检测装置，所述检测装置设于承载位的第一边缘处。

8.根据权利要求6所述的基板架，其特征在于，每个所述承载位设有两个检测装置：其中，

一个所述检测装置设于承载位的第一边缘处；

另一个所述检测装置设于承载位的第二边缘处，所述第一边缘与第二边缘相互垂直。

9.一种检测基板架上基板位置的方法，其特征在于，所述基板架为权利要求6至8中任意一项所述的基板架，所述检测基板架上基板位置的方法包括：

所述检测装置的发射极发射信号，所述接收极接收信号并产生感应信号；

通过分析所述感应信号确定基板位置。

10.根据权利要求9所述的检测基板架上基板位置的方法，其特征在于，

所述基板架为权利要求7所述的基板架；

所述承载位所承载的基板在靠近承载位第一边缘处设有至少两个沿与第一边缘平行的方向排列的辅助介电层，各辅助介电层的介电常数除以厚度的商值均不同；

所述检测装置设于基板带有辅助介电层的位置，且在与所述第一边缘平行的方向上，所述接收极的尺寸大于或等于每个辅助介电层的尺寸，但小于等于全部辅助介电层的总尺寸。