[发明专利]检测装置、基板架、检测基板架上基板位置的方法

说明书

技术领域

本发明属于基板存储技术领域，具体涉及一种检测装置、基板架、检测基板架上基板位置的方法。

背景技术

显示装置(如液晶显示装置、有机发光二极管显示装置)的阵列基板、彩膜基板等的制备过程包括多道不同工序，在各工序之间，为存储、搬运基板，需要将基板(可装在卡匣中)放在基板架上。基板架结构如图1所示，是多层的架子，每层有一个承载位，用于承载一个基板，而基板可通过机械手进行取放。

由于机械手运行误差的累积，故其将基板放在基板架上时会存在位置偏差，且该位置偏差会随时间的延长而增大。当基板的位置偏差大到一定程度时，可能使基板在工艺设备基台上的位置偏差过大，从而导致对位困难或无法完成对位，或者，也可能使基板在搬运过程中碰到其他结构，从而造成基板损坏。

现有基板架无法检测到其上基板的位置，为避免出现以上基板位置偏差过大的情况，现有方法是每隔一段时间(如一个季度)人工抽样测量(如测量3个基板架)各基板架上基板的位置，并根据检测结果调整机械手等。显然，这种人工抽样的方法存在效率低、误差大、错误率高、不及时等问题。

发明内容

本发明针对现有的检测基板架上基板位置的方法效率低、误差大、错误率高、不及时的问题，提供一种可随时准确获得基板架上基板位置的检测装置、基板架、检测基板架上基板位置的方法。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种检测装置，用于检测基板架上承载的基板的位置，所述基板架包括多个承载位，每个承载位用于承载一个基板，且所述检测装置包括：

连接信号源的发射极，其用于设在承载位的边缘处，并位于所述承载位所承载的基板的上下两侧中的一侧；

至少一个连接检测器的接收极，其与所述发射极相对设置，并位于所述承载位所承载的基板的上下两侧中另的一侧。

优选的是，所述信号源为高频信号源；所述检测器为电流检测器。

进一步优选的是，所述高频信号源产生的信号频率在600KHz至800KHz。

优选的是，所述接收极有多个，各所述接收极分别连接不同的检测器。

进一步优选的是，所述多个接收极沿与检测装置所在的承载位边缘垂直的方向排列。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种基板架，其包括：

多个承载位，每个承载位用于承载一个基板；

上述的检测装置。

优选的是，每个所述承载位设有一个检测装置，所述检测装置设于承载位的第一边缘处。

优选的是，每个所述承载位设有两个检测装置：其中，一个所述检测装置设于承载位的第一边缘处；另一个所述检测装置设于承载位的第二边缘处，所述第一边缘与第二边缘相互垂直。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种检测上述基板架上基板位置的方法，其包括：

所述检测装置的发射极发射信号，所述接收极接收信号并产生感应信号；

通过分析所述感应信号确定基板位置。

优选的是，对于上述每个承载位只有一个检测装置的基板架，其中，所述承载位所承载的基板在靠近承载位第一边缘处设有至少两个沿与第一边缘平行的方向排列的辅助介电层，各辅助介电层的介电常数除以厚度的商值均不同；所述检测装置设于基板带有辅助介电层的位置，且在与所述第一边缘平行的方向上，所述接收极的尺寸大于或等于每个辅助介电层的尺寸，但小于等于全部辅助介电层的总尺寸。

本发明的检测装置包括在基板边缘两侧相对设置的发射极和接收极，当基板处在两极之间的不同位置时，会对两极间信号的传送造成不同影响，因此，通过分析接收极的感应信号，即可确认基板相对于两极的位置，也就是确定基板在基板架上的位置；显然，这样的检测是通过设备自动进行的，从而其效率高、误差小、错误率低、可随时检测。

附图说明

图1为现有的基板架的侧视结构示意图；

图2为本发明的实施例的一种基板架的侧视结构示意图；

图3为本发明的实施例的一种检测装置进行检测的侧视结构示意图；

图4为本发明的实施例的另一种检测装置进行检测的侧视结构示意图；

图5为本发明的实施例的一种检测装置中接收极与基板的俯视位置关系示意图；

图6为本发明的实施例的另一种检测装置中接收极与基板的俯视位置关系示意图；

图7为图6的检测装置进行检测的结果图；

其中，附图标记为：1、基板架；11、承载位；2、检测装置；21、发射极；211、信号源；22、接收极；221、检测器；9、基板；91、辅助介电层。