[发明专利]靶材组件的制造方法

说明书

本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供靶材、背板和保护板，所述靶材用于焊接的面为第一焊接面，与第一焊接面相对的面为溅射面，所述背板用于焊接的面为第二焊接面；将所述保护板粘贴于所述靶材的溅射面上；焊接所述靶材的第一焊接面和所述背板的第二焊接面；在焊接过程中，所述保护板减小靶材和背板因热膨胀系数不匹配引起的热冲击；焊接后去除保护板。其中，在对靶材和背板进行加热之前，将所述保护板粘贴于靶材溅射面上。在加热和冷却过程中，所述保护板能够减小由于靶材和背板热膨胀系数不匹配而在温度变化时引起的热冲击，从而保护靶材，防止靶材破碎。

技术领域

本发明涉及溅射靶材制造领域，尤其涉及一种靶材组件的制造方法。

背景技术

靶材是溅射技术的基础材料，在液晶显示器产业和信息存储产业中具有显著优势。近年来，液晶显示器大幅度取代以阴极射线管为主的电脑和电视机显示器，使靶材的技术与市场需求大幅度增加。

现有技术通常采用拼接方式制备液晶显示器所使用的溅射靶材，即每个靶材组件可由多片靶材拼接而成。为了保证拼接靶材具有良好的导电和导热性能，靶材在溅射前需要与背板(铜或铝等材料)焊接到一起。半导体领域的发展对拼接靶材组件的焊接质量要求越来越高。

但是，现有的拼接靶材组件的制造工艺存在靶材易碎的问题。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种靶材组件的制造方法，减小靶材破碎的几率。

为解决上述问题，本发明提供一种靶材组件的制造方法，包括：提供靶材、背板和保护板，所述保护板的热膨胀系数小于靶材的热膨胀系数，或者保护板的热膨胀系数与靶材的热膨胀系数相同或相当；所述靶材用于焊接的面为第一焊接面，与第一焊接面相对的面为溅射面，所述背板用于焊接的面为第二焊接面；将所述保护板粘贴于所述靶材的溅射面上；焊接所述靶材的第一焊接面和所述背板的第二焊接面；焊接后去除保护板。

可选的，所述靶材组件为拼接靶材组件，包括位于背板上的多个靶材；

提供靶材、背板和保护板的步骤包括：提供多个靶材、一背板和多个保护板；将所述保护板粘贴于所述靶材的溅射面上的步骤中，在每一靶材的溅射面上均粘贴一保护板；

焊接所述靶材的第一焊接面和所述背板的第二焊接面的步骤包括：加热所述靶材和背板；分别在所述多个靶材的第一焊接面和背板的第二焊接面上涂覆焊料；在所述背板的第二焊接面上依次放置所述多个靶材，并在相邻靶材之间插入支撑条；冷却且在焊料未凝固时，去除所述支撑条；冷却后的靶材第一焊接面和背板第二焊接面焊接在一起。

可选的，所述支撑条为不锈钢片。

可选的，所述支撑条的长度等于靶材与支撑条相邻边的边长。

可选的，所述支撑条的长度为135～165mm，宽度为9～11mm，厚度为0.2～0.4mm。

可选的，在相邻靶材之间插入支撑条的步骤之前，所述制造方法还包括，在支撑条的侧面粘贴耐温胶带。

可选的，采用钎焊焊接所述靶材的第一焊接面和所述背板的第二焊接面，所述焊料为钎焊料。

可选的，所述制造方法还包括：

分别在所述靶材的第一焊接面和背板的第二焊接面上涂覆焊料的步骤之后，在背板的第二焊接面上平行放置两根铜丝；

在所述背板的第二焊接面上依次放置所述多个靶材的步骤包括，将多个靶材依次放置在背板第二焊接面上的两根铜丝上，使所述铜丝支撑靶材。

可选的，所述加热所述靶材和背板的步骤包括：将所述靶材和背板放在加热平台上，升温至所述焊料的熔点；所述焊料为铟焊料；