[发明专利]一种对薄膜沉积设备工艺管路焊接点电抛光的方法

权利要求书

1.一种对薄膜沉积设备工艺管路焊接点电抛光的方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)电抛光液的配置，将工业用磷酸85-95g、甘油40-70g、聚乙二醇3-5g和蒸馏水8-15g进行混合；

2)电抛光装置的组合，将待处理工艺管路作为阳极，与阳极同样大小的铅板作为阴极，二者之间连接电源后，未接电源的一端放入反应槽，反应槽放在加热器中；

3)进行电抛光反应，将步骤1)中制备的电抛光液加入到反应槽中，利用加热器将所述电抛光液加热到75℃，打开电源，调节好电压和电流，进行抛光反应，时间为12分钟；

4)硫酸浸泡，将步骤3)中处理完的工艺管路从电抛光装置中卸下，放在摩尔浓度9％的硫酸溶液中，浸泡1-2分钟，取出清水冲洗干净，完成了工艺管路的电抛光处理。

2.根据权利要求1所述的一种对薄膜沉积设备工艺管路焊接点电抛光的方法，其特征在于，所述电抛光液中工业用磷酸90g、甘油50g、聚乙二4g、蒸馏水10g。

3.根据权利要求1所述的一种对薄膜沉积设备工艺管路焊接点电抛光的方法，其特征在于，步骤3)中进行电抛光反应时电压为10V，电流为10A。

4.根据权利要求1所述的一种对薄膜沉积设备工艺管路焊接点电抛光的方法，其特征在于，所述反应槽中设置有温度计和搅拌装置。

5.根据权利要求1所述的一种对薄膜沉积设备工艺管路焊接点电抛光的方法，其特征在于，所述阳极通过挂具悬挂。