[发明专利]研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台

权利要求书

1.一种研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台，其特征在于，包括：

研磨液供给系统，用以提供增压的研磨液，所述增压的研磨液的压力大于等于50Mpa；

腔体，与所述研磨液供给系统连通；

具有多个引流孔的引流板，设置于所述腔体中；

驱动系统，用以承载并驱动所述腔体；

其中，所述研磨液供给系统提供的增压的研磨液经所述腔体从所述引流孔喷洒至研磨垫上。

2.如权利要求1所述的研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台，其特征在于，所述引流板面向所述腔体的一侧设置叶片，所述多个引流孔设置于所述叶片中，增压的研磨液从所述引流孔喷出带动所述引流板旋转。

3.如权利要求2所述的研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台，其特征在于，所述多个引流孔以所述引流板的中心对称分布，并且，所述多个引流孔的开孔方向与所述引流板所成的角度一致。

4.如权利要求1所述的研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台，其特征在于，所述腔体包括具有通孔的顶壁以及与所述顶壁连接的侧壁，所述增压的研磨液经所述通孔从所述引流孔喷洒至所述研磨垫上。

5.如权利要求4所述的研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台，其特征在于，还包括设置于所述侧壁上靠近所述研磨垫一端的防研磨液飞溅环。

6.如权利要求5所述的研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台，其特征在于，所述防研磨液飞溅环上设置有若干沟槽，所述沟槽沿所述防研磨液飞溅环的宽度方向延伸。

7.如权利要求1所述的研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台，其特征在于，所述研磨液供给系统包括研磨液存储箱以及通过传输管路连通的将研磨液增压的液压增压器。

8.如权利要求1所述的研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台，其特征在于，所述驱动系统包括一机械臂以及驱动所述机械臂的马达。

9.如权利要求1所述的研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台，其特征在于，所述驱动系统驱动所述腔体在所述研磨垫上方以弧形摆动。

10.一种研磨机台，其特征在于，包含如权利要求1－9中任意一项所述的研磨液供给及研磨垫整理装置、研磨机台。