[发明专利]一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置

权利要求书

1.一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置，该冷却装置设置于电感耦合等离子体反应器的容器腔体（100）顶部，该冷却装置包含：绝缘板（10）、设置在该绝缘板（10）上的线圈（20）、风扇（30），其特征在于，该冷却装置还包含：

壳体（40），设置在所述绝缘板（10）上，所述壳体（40）的一侧壁上间隔设有多个冷却孔（41）；所述壳体（40）采用导磁材料制成；

磁屏蔽罩（50），设置在所述壳体（40）的具有多个冷却孔的侧壁上，并且所述磁屏蔽罩与侧壁之间形成一个气流通道，使得冷却孔（41）中流出气流经过所述气流通道向下到达下方的开口（52），所述开口（52）位于多个冷却孔（41）下方，所述磁屏蔽罩（50）采用导磁材料制成。

2.如权利要求1所述的具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置，其特征在于，所述壳体（40）呈长方体，该壳体（40）底部开口，该壳体（40）底部与所述绝缘板（10）匹配连接。

3.如权利要求2所述的具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置，其特征在于，所述壳体（40）顶部内设有风扇安装支架，所述风扇（30）设置于该风扇安装支架上。

4.一种电感耦合等离子体反应器，设有容器腔体，其特征在于，该反应器还设有具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置；所述的具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置包含：

绝缘板（10），设置在所述容器腔体上；

线圈（20），设置在所述绝缘板（10）上；

壳体（40），设置在所述绝缘板（10）上，所述壳体（40）的一侧壁上间隔设有冷却区域，冷却区域内设有多个冷却孔（41）；所述壳体（40）采用导磁材料制成；

风扇（30），设置在所述壳体（40）内；

磁屏蔽罩（50），设置在所述壳体（40）的一个侧壁上，所述磁屏蔽罩（50）采用导磁材料制成，所述磁屏蔽罩（50）遮挡所述冷却区域，使得冷却区域内流出的气体沿着所述磁屏蔽罩内壁到达一个开口流出，所述开口在冷却区域所在侧壁上的投影位于所述冷却区域外。

5.如权利要求4所述的电感耦合等离子体反应器，其特征在于，所述壳体（40）呈长方体，该壳体（40）底部开口，该壳体（40）底部与所述绝缘板（10）匹配连接。

6.如权利要求5所述的电感耦合等离子体反应器，其特征在于，所述壳体（40）顶部内设有风扇安装支架，所述风扇（30）设置于该风扇安装支架上。

7.如权利要求5所述的电感耦合等离子体反应器，其特征在于，所述磁屏蔽罩（50）设置在具有所述多个冷却孔（41）的所述壳体（40）侧壁上。

8.如权利要求7所述的电感耦合等离子体反应器，其特征在于，所述磁屏蔽罩（50）呈长方体，与所述壳体（40）连接的所述磁屏蔽罩（50）的一侧壁设有第一开口（51），该磁屏蔽罩（50）底部设有第二开口（52）。

9.如权利要求8所述的电感耦合等离子体反应器，其特征在于，所述第一开口（51）的面积大于所述多个冷却孔（41）在所述壳体（40）上形成的面积；同时该第一开口（51）的面积小于设有所述多个冷却孔（41）的壳体（40）侧面的面积。