[发明专利]一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置

说明书

本发明公开了一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置，将壳体、磁屏蔽罩采用导磁材料制成，在壳体的一侧面设有均匀分布的多个冷却孔，并将磁屏蔽罩设置在带有多个冷却孔的壳体的一侧面上。使得电感耦合等离子体反应器在工作时，绝缘窗冷却装置既能够起到风冷作用，又能够实现外界磁场对电感耦合等离子体反应器刻蚀工作的干扰屏蔽，提高刻蚀效率、产品质量。

技术领域

本发明涉及一种提高刻蚀工艺的装置，具体涉及一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置。

背景技术

随着ETCH技术的不断发展，对ETCH技术要求也越来越严苛以实现更高更好的产品质量。以前认为对工艺结果影响不大的外界因素，在越来越严苛的工艺要求中体现出越来越大的影响，如外界磁场对工艺结果的影响。高产品质量的要求需要消除这些外界因素的影响。

但目前的机台结构，因为功能特征的要求不可以直接植入导磁材料，如机台LID结构中的housing风冷孔板材就不可以直接用导磁材料或贴膜代替加工成形，因为磁力线可以直接穿过导磁材料中的孔结构，而达不到防磁场的效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置，将壳体、磁屏蔽罩采用导磁材料制成，并通过在壳体的一侧设有多个冷却孔，使得磁屏蔽罩设置在带有多个冷却孔的壳体的一侧；使得本发明能够在不影响风冷结果的前提下，通过一个完整的导磁回路将磁场引导在绕过电感耦合等离子体反应器的容器腔体内的反应区域，从而实现预防外界磁场对电感耦合等离子体反应器工作的干扰，提高生产效率、提高产品质量。

为了达到上述目的，本发明通过以下技术方案实现：

一种具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置，该冷却装置设置于电感耦合等离子体反应器的容器腔体顶部，该冷却装置包含：绝缘板、设置在该绝缘板上的线圈、风扇，其特点是，该冷却装置还包含：

壳体，设置在所述绝缘板上，所述壳体的一侧壁上间隔设有多个冷却孔；所述壳体采用导磁材料制成；

磁屏蔽罩，设置在所述壳体的具有多个冷却孔的侧壁上，并且所述磁屏蔽罩与侧壁之间形成一个气流通道，使得冷却孔中流出气流经过所述气流通道向下到达下方的开口，所述开口位于多个冷却孔下方，所述磁屏蔽罩采用导磁材料制成。

优选地，所述壳体呈长方体，该壳体底部开口，该壳体底部与所述绝缘板匹配连接。

优选地，所述壳体顶部内设有风扇安装支架，所述风扇设置于该风扇安装支架上。

一种电感耦合等离子体反应器，其特点是，设有容器腔体，该反应器还设有具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置；所述的具有磁屏蔽功能的绝缘窗冷却装置包含：

绝缘板，设置在所述容器腔体上；

线圈，设置在所述绝缘板上；

壳体，设置在所述绝缘板上，所述壳体的一侧壁上间隔设有冷却区域，冷却区域内设有多个冷却孔；所述壳体采用导磁材料制成；

风扇，设置在所述壳体内；

磁屏蔽罩，设置在所述壳体的一个侧壁上，所述磁屏蔽罩采用导磁材料制成，所述磁屏蔽罩遮挡所述冷却区域，使得冷却区域内流出的气体沿着所述磁屏蔽罩内壁到达一个开口流出，所述开口在侧壁上的投影位于所述冷却区域外。

优选地，所述壳体呈长方体，该壳体底部开口，该壳体底部与所述绝缘板匹配连接。

优选地，所述壳体顶部内设有风扇安装支架，所述风扇设置于该风扇安装支架上。

优选地，所述磁屏蔽罩设置在具有所述多个冷却孔的所述壳体侧壁上。

优选地，所述磁屏蔽罩呈长方体，与所述壳体连接的所述磁屏蔽罩的一侧壁设有第一开口，该磁屏蔽罩底部设有第二开口。