[发明专利]一种束流检测装置

权利要求书

1.一种束流检测装置，包括束流接收模块(1)、气缸导轨运动模块(2)、波纹管真空密封模块(3)，其特征在于：该束流检测装置能够接收分析器后端的束流，并且能够实现对束流大小准确的测量，具有直线运动平稳，测量准确，不影响高真空等优点。

2.根据权利要求1所述的束流检测装置，所述束流接收模块(1)包括法拉第杯(4)、磁铁(5)、磁铁固定板(6)、石墨(7)等组成，如图2所示，将法拉第杯(4)磁铁(5)磁铁固定板(6)石墨(7)连接，其特征在于：能够准确的测量束流的大小，杯体四周有一个冷却水回路，保证带走杯体因接束流而产生的热量，增强束流接收模块的使用寿命。

3.根据权利要求1所述的束流检测装置，所述气缸导轨运动模块(2)包括气缸运动部件(10)、导轨滑块(11)、导轨支撑架(12)、气缸导管连接块(13)，其特征在于：该气缸导轨运动模块保证了束流接收模块的平稳运动，有效的提高了设备的稳定性。

4.根据权利要求1所述的束流检测装置，波纹管真空密封模块(3)包括真空波纹管(21)、真空腔体(22)、轴(23)，其特征在于：主轴(23)穿过波纹管(21)，通过波纹管(21)，使真空腔体(22)与气缸导轨运动模块(2)之间形成活动密闭真空腔。