[发明专利]一种束流检测装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种半导体器件制造设备，即离子注入机，特别是一种束流检测装置，属半导体设备领域。

背景技术

随着集成电路工艺技术的提高，对离子注入设备提出了更高的要求，离子注入元素的种类更多，离子注入设备的应用范围更广，其可应用于各种材料改性、半导体器件制造以及大功率器件如SiC电子器件制造等领域，并要求离子注入设备自动化程度较高，操作简单方便，工作稳定。

现有的束流检测装置可实现束流大小的检测，其运动密封方式采用单一的滑动密封，本束流检测装置采用焊接波纹管连接密封方式，并加以滑块导轨进行固定，使其直线运动更加稳定。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是，针对现有技术不足，提供一种束流检测装置，该束流检测装置在保证良好真空条件下，能够实现平稳的运动。从而提高束流检测的稳定性。

一种束流检测装置，包括束流接收模块、气缸导轨运动模块、波纹管真空密封模块(3)，其特征在于：该束流检测装置能够接收分析器后端的束流，并且能够实现对束流大小准确的测量，具有直线运动平稳，测量准确，不影响高真空等优点。

所述束流接收模块，包括法拉第杯、磁铁、磁铁固定板、石墨等组成，将法拉第杯，磁铁，磁铁固定板，石墨连接，其特征在于：能够准确的测量束流的大小，杯体四周有一个冷却水回路，保证带走杯体因接束流而产生的热量，增强束流接收模块的使用寿命。。

所述气缸导轨运动模块，包括气缸运动部件、导轨滑块、导轨支撑架、气缸导管连接块，其特征在于：该气缸导轨运动模块保证了束流接收模块的平稳运动，有效的提高了设备的稳定性。

所述的束流检测装置，波纹管真空密封模块，包括真空波纹管、真空腔体、轴，其特征在于：主轴穿过波纹管，通过波纹管使真空腔体与气缸导轨运动模块之间形成活动密闭真空腔。该真空模块密封连接采用焊接波纹管的方式，运动平稳可靠，真空度好。

与现有技术相比，本发明所具有的有益效果为：本发明结构紧凑，拆装维护方便；能够对高能大束流进行检测，并且该梳理检测装置在保证良好密封性条件下，能够实现束流接收模块直线运动的稳定性。

附图说明

图1为本发明一实施例结构示意图；

图2为本发明一实施例束流接收模块结构示意图；

图3为本发明一实施例气缸导轨运动模块结构示意图；

图4为本发明一实施例波纹管真空密封模块结构示意图；

具体实施方式

如图1所示，本发明一实施例包括束流接收模块(1)、气缸导轨运动模块(2)、波纹管真空密封模块(3)等。

一种束流检测装置，主要采用气缸导轨运动，波纹管密封方式，所述束流接收模块，包括法拉第杯、磁铁、磁铁固定板、石墨等组成，将法拉第杯，磁铁，磁铁固定板，石墨连接，其特征在于：能够准确的测量束流的大小，杯体四周有一个冷却水回路，保证带走杯体因接束流而产生的热量，增强束流接收模块的使用寿命。所述气缸导轨运动模块，包括气缸运动部件、导轨滑块、导轨支撑架、气缸导管连接块，其特征在于：该气缸导轨运动模块保证了束流接收模块的平稳运动，有效的提高了设备的稳定性。所述的束流检测装置，波纹管真空密封模块，包括真空波纹管、真空腔体、轴，其特征在于：主轴穿过波纹管，通过波纹管使真空腔体与气缸导轨运动模块之间形成活动密闭真空腔。该真空模块密封连接采用焊接波纹管的方式，运动平稳可靠，真空度好。