[发明专利]具有亲液部与疏液部的基材的制造方法及其应用及组合物有效
申请号: | 201510713106.0 | 申请日: | 2015-10-28 |
公开(公告)号: | CN105573053B | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 浜口仁;田中健朗 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/039;G03F7/075;G03F7/028 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 彭雪瑞;臧建明 |
地址: | 日本东京港*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 亲液部 疏液部 基材 制造 方法 及其 应用 组合 | ||
本发明提供一种用于抑制液状的膜形成材料的濡湿扩散、洇渗而形成高精细的图案的具有亲液部与疏液部的基材的制造方法及其应用,且提供一种组合物及一种感放射线性树脂组合物。具有亲液部与疏液部的基材的制造方法是通过包括以下工序的制造方法而达成:在基板上,(1)涂布组合物而形成涂膜的工序,其中组合物含有(A)具有选自含有缩醛键的基团或含有硅原子的基团中的至少一个基团的聚合物、(B)酸产生剂及与(A)不同的化合物(C);以及(2)对涂膜的既定部分进行放射线照射的工序。导电膜形成方法是通过以下方式达成:在工序(2)后,在形成于基板(1)上的涂膜的放射线照射部中的亲液部上涂布导电膜形成用的膜形成材料,并进行加热。
技术领域
本发明涉及一种具有亲液部与疏液部的基材的制造方法及其应用、组合物及感放射线性树脂组合物。
背景技术
对于液晶显示器、手机、平板电脑(tablet)等移动信息设备及数字照相机(digital camera)、有机电致发光(Electroluminescence,EL)显示器、有机EL照明、传感器(sensor)等电子设备来说,除了小型化、薄型化以外,追求进一步的高性能化。作为更廉价地制造这些电子设备的方法,直接印刷布线的印刷电子(printed electronics)技术受到关注。通过利用该技术的印刷法来制造电子零件时,通常可跳过(skip)包括曝光或显影的多阶段的工序、或者蒸镀法等的真空工序,从而可期待工序的大幅简化。
喷墨(ink-jet)或丝网印刷(screen print)、凹版印刷、凹版胶版印刷(gravureoff-set print)等印刷法可在基板上直接形成所需图案的布线,因此作为简便且低成本的工艺(process)而被使用。但是,在形成所需图案的布线时,用于印刷的膜形成材料流动,结果产生这些材料的濡湿扩散或洇渗,在形成直线性优异的微细图案的方面存在极限。
另外,正在活跃地研究以下技术,即,通过印刷来将膜形成材料图案化,通过热煅烧或光煅烧来形成金属布线(例如参照专利文献1),但除了印刷时的材料的扩散或洇渗的问题以外,在所得的布线与基板的密接性方面存在问题。
因此,正在研究以下技术:解决所述问题而可进行高精细的印刷,另外为了形成高精细的膜而设置成为布线基底的层(基底层)。设置基底层的基底处理大多情况下是为了抑制涂布在基板上的膜形成材料的濡湿扩散及洇渗等、提高印刷性而进行。
例如,已知对基板进行环氧基的接枝的技术(例如参照专利文献2及专利文献3)。另外,已知在基板上涂布光催化剂的技术(例如参照专利文献4及专利文献5)。进而,已知在基板上涂布丙烯酸系的共聚物的技术(例如参照专利文献6及专利文献7)。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2011-241309号公报
[专利文献2]日本专利特开2003-114525号公报
[专利文献3]日本专利特开2006-58797号公报
[专利文献4]日本专利特开2003-209340号公报
[专利文献5]日本专利特开2004-98351号公报
[专利文献6]日本专利特开2012-232434号公报
[专利文献7]日本专利特开2012-218318号公报
发明内容
[发明所要解决的问题]
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