[发明专利]光谱计、光谱计的制造方法以及光谱计的操作方法

权利要求书

1.一种光谱计，包括：

第一镜单元，对于至少一个波长或波长范围的电磁辐射是半透明的；其中所述第一镜单元由块状半透明材料形成；以及

第二镜单元，包括面对所述第一镜单元的第一区域和第二区域，其中所述第一区域和所述第二区域的至少一部分与所述第一镜单元隔开，其中所述第一区域对于所述至少一个波长或波长范围的电磁辐射是至少部分反射的，其中所述第二区域包括光电检测器的至少一部分，以及其中所述光电检测器被配置为检测所述至少一个波长或波长范围的电磁辐射，其中所述第一区域至少部分地环绕所述第二区域。

2.根据权利要求1所述的光谱计，

其中所述第一镜单元被形成为使得所述第一镜单元的至少一部分在朝向所述第二镜单元的方向或者远离所述第二镜单元的方向中的至少一个方向上可偏转。

3.根据权利要求1所述的光谱计，

其中所述第一镜单元包括隔膜。

4.根据权利要求1所述的光谱计，

其中所述第一镜单元包括至少一个弹性元件和平坦区域，其中所述平坦区域通过所述至少一个弹性元件安装为可偏转。

5.根据权利要求1所述的光谱计，

其中所述第一区域包括所述光电检测器的一部分。

6.根据权利要求1所述的光谱计，

其中所述第一镜单元包括第一表面，以及所述第二镜单元包括面对所述第一表面的第二表面，其中所述第一表面和所述第二表面至少部分地相互平行。

7.根据权利要求1所述的光谱计，

还包括位于所述第一镜单元和所述第二镜单元之间的孔。

8.根据权利要求2所述的光谱计，

还包括被配置为偏转所述第一镜单元的所述可偏转部分的至少一个驱动电路。

9.根据权利要求8所述的光谱计，

其中所述第一镜单元包括耦合至所述至少一个驱动电路的第一电极，以及所述第二镜单元包括至少部分地面对所述第一电极且耦合至所述至少一个驱动电路的第二电极。

10.根据权利要求8所述的光谱计，

其中所述至少一个驱动电路包括第一驱动电路和第二驱动电路，其中所述第一驱动电路被配置为粗调所述第一镜单元和所述第二镜单元之间的距离，以及所述第二驱动电路被配置为细调所述第一镜单元和所述第二镜单元之间的距离。

11.根据权利要求10所述的光谱计，其中所述第一镜单元包括耦合至所述第一驱动电路的第一电极和耦合至所述第二驱动电路的第二电极，并且

其中所述第二镜单元包括至少一个电极，所述至少一个电极耦合至所述第一驱动电路或所述第二驱动电路中的至少一个驱动电路并且至少部分地面对所述第一镜单元的所述第一电极或所述第二电极中的至少一个。

12.根据权利要求11所述的光谱计，其中所述第二镜单元包括耦合至所述第一驱动电路并且至少部分地面对所述第一镜单元的所述第一电极的第三电极以及耦合至所述第二驱动电路并且至少部分地面对所述第一镜单元的所述第二电极的第四电极。

13.根据权利要求10所述的光谱计，其中所述第一镜单元包括耦合至所述第一驱动电路或所述第二驱动电路中的至少一个驱动电路的至少一个电极，并且

其中所述第二镜单元包括耦合至所述第一驱动电路的第一电极和耦合至所述第二驱动电路的第二电极，所述第一电极和所述第二电极至少部分地面对所述第一镜单元的至少一个电极。

14.根据权利要求1所述的光谱计，

还包括确定所述第一镜单元和所述第二镜单元之间的距离的距离确定电路。