[发明专利]光谱计、光谱计的制造方法以及光谱计的操作方法

说明书

本发明涉及光谱计、光谱计的制造方法以及光谱计的操作方法。在各个实施例中，提供了一种光谱计。光谱计可以包括：第一镜单元，对于至少一个波长或波长范围的电磁辐射是半透明的；以及第二镜单元，包括面对第一镜单元的第一区域和第二区域，第一区域和第二区域的至少一部分与第一镜单元隔开，第一区域对于至少一个波长或波长范围的电磁辐射是至少部分反射的，第二区域包括光电检测器的至少一部分，光电检测器被配置为检测至少一个波长或波长范围的电磁辐射。

技术领域

本发明的各个实施例总体上涉及光谱计、光谱计的制造方法和光谱计的操作方法。

背景技术

具有用于电磁辐射的干涉仪的光谱计可需要镜面系统和检测器。传统的干涉仪可具有大约为几立方厘米的大小。因此，这种光谱计太大而不能用于限制大小的应用，诸如智能手机或汽车应用。

发明内容

在各个实施例中，提供了光谱计。该光谱计可包括：第一镜单元，其对于至少一个波长或波长范围的电磁辐射是半透明的；以及第二镜单元，具有面对第一镜单元的第一区域和第二区域，其中第一区域和第二区域的至少一部分与第一镜单元隔开，其中第一区域至少部分地反射至少一个波长或波长范围的电磁辐射，其中第二区域包括光电检测器的一部分，并且其中光电检测器被配置为检测至少一个波长或波长范围的电磁辐射。

附图说明

在附图中，类似的参考标号在不同附图中一般表示相同的部分。附图不需要按比例绘制，相反重点在于示出本发明的原理。在以下描述中，参照以下附图描述本发明的各个实施例，其中：

图1A和图1B示出了根据各个实施例的光谱计的元件；

图1C示出了根据各个实施例的由光谱计确定的光谱；

图2A和图2B示出了根据各个实施例的光谱计的元件；

图2C示出了根据各个实施例的由光谱计确定的光谱；

图3A至图3C示出了根据各个实施例的光谱计的元件；

图4A和图4B示出了根据各个实施例的光谱计的元件；

图5示出了根据各个实施例的光谱计；

图6示出了根据各个实施例的图5的光谱计的元件；

图7示出了根据各个实施例的光谱计的第一镜单元；

图8A和图8B示出了根据各个实施例的光谱计的第一镜单元的两个示例；

图9A至图9E示出了根据各个实施例的光谱计的第一镜单元的各个示例；

图10示出了根据各个实施例的光谱计的第二镜单元；

图11A至图11D示出了根据各个实施例的光谱计的第二镜单元的各个示例；

图12示出了根据各个实施例的用于光谱计中的距离确定和/或驱动的电极的示意图；

图13示出了根据各个实施例的用于光谱计中的距离确定和/或驱动的电极的示意图；

图14示出了根据各个实施例的用于制造光谱计的方法的流程图；以及

图15示出了根据各个实施例的用于操作光谱计的方法的流程图。

具体实施方式

以下详细描述参照附图，其中通过说明示出了可以实践本发明的具体细节和实施例。

本文使用的术语“示例性”表示“用作示例、例子或说明”。本文描述为“示例性”的任何实施例或设计都不需要相对于其他实施例或设计是优选或有利的。